Резистивный материал

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

357600

Еоюв Советсвив

Соцналистнческил

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 24 11.1971 (№ 162i3923/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 31,Х.1972. Бюллетень № 33

Дата опубликования описания 25.1.1973

М. Кл. Н 01с 7I00

Комитат an делам изобретений к открытий прн Совете Министров

СССР

УДК 621.316.8 (088.8) Авторы изобретения

Б, П. Соколов, Э. А. Бондаренко и Ю. П. Юсов

Московский авиационный технологический институт

Заявитель

РЕЗИСТИВНЫЙ МАТЕРИАЛ

58 — 94

3 — 40

2 — 3

Карбид тантала

Тантал

Несвязанный азот

Изобретение относится к области технологии радиоэлементов.

Известен резистивный материал для тонкопленочных резисторов на основе металла, карбида металла и газа.

Цель изобретения — уменьшение ТКС материала, расширение диапазона номиналов резисторов и повышение надежности их работы.

Поставленная цель достигается тем, что материал состоит из смеси или твердого раствора тантала, карбида тантала и несвязанного азота при следующем соотношении исходных компонентов, вес. %:

Карбид тантала 58 — 94

Тантал 3 — 40

Несвязанный азот 2 — 3

Ниже приводится пример образования резистивной пленки из предлагаемого материа.ла на диэлектрическом основании.

Образование резистивной пленки на диэлектрическом основании из керамики, стекла, снталла и других материалов осуществляется путем плазменного напыления тантала (3—

40 вес. %) в среде из смеси, например, азота и углеводородов. Термическое плазменное пыление тантала ведется на подогретую до температуры 400 — 700 С подложку, при этом наряду с танталом осаждается карбид тантала (58 — 94 вес. %), образованный в газовой фазе за счет реакции паров тантала с углеродсодержащими парами.

Осуществление процесса в азотосодержащей среде позволяет также насыщать покрытие несвязанным азотом (2 — 3 вес. %), изменяющим в нужную сторону электросопротивление

5 покрытия.

Образование резистивной пленки с малым

ТКС и с широким диапазоном номиналов возможно благодаря малому ТКС карбида тантала (от 10 — 4 до 10 — 6 град 1) и высокому

10 удельному сопротивлению, мало меняющемуся в диапазоне температур 20 †10 С. Содержание резистивным покрытием несвязанного растворенного в тантале азота также позволяет уменьшить ТКС и расширить диапазон

15 номиналов резисторов.

Предмет изобретения

Резистивный материал для тонкопленочных

20 резисторов на основе металла, карбида металла и газа, отличающийся тем, что, с целью уменьшения температурного коэффициента сопротивления, расширения диапазона номиналов резисторов и повышения надежности их

25 работы, указанный материал состоит из смеси или твердого раствора тантала, карбида тантала и несвязанного азота при следующем соотношении исходных компонентов, вес. %: