Устройство для измерения холловских характеристик тонких пленок

352239

О П И С А Н И Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскив

Социалистических

Республик

Зависимое от явт. свидетельства ч"

М, Кл, С 01г 33/06

G 01п 31/02

Заявлено 18.1.1971 (№ 1611710/18-10) с присоединением заявки М

Приоритет

Опубликовано 21.IX:1972. В1оллетень Х 28

Дата опубликовшшя ollllc IIIIIII 24.Х.1972

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.359(088.8) Авторы изобретения

В. А. Лабунов и Б. С. Колосницын

Минский радиотехнический институт

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ХОЛЛОВСКИХ

ХАРАКТЕРИСТИК ТОНКИХ ПЛ ЕНО К

Предлагаемое устройство предназначено преимущественно для измерения электрофизических параметров тонких металлических и п/п пленок и может найти широкое:применение .при исследовании размерных эффектов в тонких пленках.

Известны устройства для измерения холловских характеристик металлов и п1п на переменном токе как в массивном, так и в тонкопленочном состоянии.

Известно устройство для измерения эффекта Холла на переменном токе, содержащее электромагнит с Ш-образным сердечником, который, имея небольшие габариты, создает достаточное для,проведения холловских измерений магнитное поле за счет малого зазора в магнитопроводе, в который помещается измеряемый образец; генераторы тока для питания катушки электромагнита и образца; смеситель для выделения сигнала с частотой холловской э.д.с.; измерительный усилитель; синхродетектор и регистрирующий прибор.

Однако это устройство не позволяет проводить измерение холловских характеристик тонких металлических и п/ п IIIJIcllol< непосредственно в процессе их напыления.

Предложенное уст1ройство отличается от известного тем, что в нем электромагнит специальной конструкции помещен непосредственно в вакуумную камеру, а в схему устройства введены кварцевый измеритсль толщины и релейный усилитель для контроля толщины напыляемого элемента и управления чередующимися процессами напыления и измерения.

Иа чертеже показано предлагаемое устройство, общий впд.

Оно содержит электромагнит 1, IlollclllcIIHI IIl непосредственно B ва1 y . II Ilylo I axlepy 2 cTIIII10 дартной вакуумной установки н закрепленный таAI на кронштейне 8 непосредственно над испаритслем 4; два генератора переменного тока 5, б с частотами fI u f. для,питания электромагнита 1 и образца 7 соответствен15 но; измерительный усилитель 8 для усиления холловского сигнала; cìåñèòåëü 9 для выделения cllnlaла с частотой холловской э.д.с.; синхродетектор 10, напряжение на выходе которого пропорционально подвижности носи20 телей измеряемого образца, кварцевый измеритель толщины 11, регистрирующий прибор

12 и релейный усилитель 18 с исполнительным механизмом 14.

Процесс измерения осуществляется следую25 щим образом.

Вакуумную камеру откачивают до максимально достижимого для применяемой вакуумной системы давления. Перемычка магнитапровода 15, шарнирно соединенная с его

ЗО остальной Ш-образной частью, под воздей