Способ измерения распределения примесей в тонких пленках

Авторы патента:

G01N31/02 - путем осаждения

О П И С А Н И Е 346663

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Сове«окна

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства М

М. Кл. 6 Oln 31/02

В 011 17,00

Заявлено 16Х! l 1.1969 (№ 1356772/26-25) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Комитет по делам изобретениЯ н открытиЯ пои Совете Министров

СССР

Опубликовано 28.VI1.1972. Бюллетень ¹ 23

Дата опубликования описания 15Х111.1972

УДК 537.311.33:539. .219.3(088.8) Авторы изобретения

А. E. Гершинский и Э. Г. Косцов

Заявитель

Институт математики Сибирского отделения АН СССР

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСЕЙ

В ТО!!КИХ ПЛЕНКАХ

Изобретение относится к области технической физики, в частности, к измерению концентрации примеси в твердом теле.

Известен способ измерения распределения примесей в тонких пленках, заключающийся в активировании нейтронами материала образца поэтапным травлением и измерением активности полученного раствора по отношению к активности образца сравнения.

Недостаток известного способа вЂ” ограниченное число материалов исследования вследствие трудности контроля травления.

Предлагаемый способ дает возможность определить распределение примесей в достаточно тонких пленках 50А, расширить класс исследуемых материалов и может быть применен при экспериментальном изучении распределения примеси в тонких пленках и многослойных тонкопленочных системах.

Процесс измерения заключается в том, что исследуемую тонкую пленку с распределенной в ней примесью помещают в электролитическую ванну, к клеммам которой подают напряжение, и измеряя разницу в количестве электричества, необходимого для анодного растворения (или катодного восстановления) соответствующих интервалов толщин пленок исследуемого образца, и образуя сравнения, определяют распределение примесей.

Предмет изобретения

Способ измерения распределения примесей в ToHKIIx II«IåIII àê, отлнчато ций1ся тем, что, с целью расширения диапазона исследуемых веществ, исследуемую тонкую пленку с рас15 пределенной в ней примесью помещают в электролитическую ванну, измеряют разницу в количестве электричества, необходимого для анодного растворения (или катодного восстановления) соответствующих интервалов

20 толщины пленок исследуемого образца и образца сравнения и электрохимическим путем определяют распределение примесей.

Способ измерения распределения примесей в тонких пленках

Способ определения удельной robepxhoctv стеклянной и минеральной ватывсесоюзнаяп.-интно-!аш{несшбиблиотека // 340963

Способ определения количества двуокиси хлора в воздухе // 314132

Способ количественного определения поверхностно-активных веществ в воде // 304492

Способ определения окиси магнияi вс2 // 304234

Способ дисперсионного анализа // 303585

Патент 286328 // 286328

Способ получения препаратов гуминовых и фулбвокислот из почв // 268741

Способ качественного обнаружения примесей // 268735

Способ определения окиси цинка // 265546

Способ определения микроколичеств пинаколинового эфира фторангидрида метилфосфоновой кислоты в почве // 2214592

Изобретение относится к области аналитической химии, а именно исследованию способов извлечения, приемов стабилизации проб почвы, зараженных микроколичествами пинаколинового эфира фторангидрида метилфосфоновой кислоты, и последующего биохимического анализа

Способ определения паров ацетальдегида в воздухе рабочей зоны // 2284031

Изобретение относится к аналитической химии органических соединений и может быть применено для определения паров ацетальдегида в воздухе рабочей зоны предприятий химической и других отраслей промышленности

Способ определения индолил-3-уксусной кислоты в водных растворах // 2340890

Изобретение относится к области экологии, биотехнологии и количественного содержания веществ, в частности к контролю содержания индолил-3-уксусной кислоты в водных объектах

Способ определения фосфора в препаратах элементов, экстрагируемых нейтральными органическими соединениями // 2361201

Изобретение относится к аналитической химии применительно к определению содержания фосфора в соединениях актинидных, редких и рассеянных элементов

Способ турбидиметрического определения йодид-ионов // 2377557

Изобретение относится к аналитической химии и позволяет определять содержание йодид-ионов в различных объектах, например в водах (питьевых, поверхностных, артезианских, расфасованных минеральных и др.), в пищевых продуктах, продовольственном сырье и т.д

Устройство для определения в воздухе химических веществ, химический сенсор и способ его изготовления // 2377558

Изобретение относится к области индикации и экспересс-анализа в воздухе веществ различной природы, в том числе отравляющих веществ, аварийно химически опасных веществ, сильно действующих ядовитых веществ и др

Способ одновременного определения содержания фтора, хлора, брома, йода, серы и фосфора в органических соединениях // 2395806

Изобретение относится к химии органических соединений, их идентификации и контролю качества, а именно к области органического элементного анализа

Способ определения ионов кадмия (ii) в растворе // 2429470

Изобретение относится к анализу водных растворов и может использоваться для проведения экспресс-анализов проб природных и промышленных сточных вод в отрыве от лабораторной базы

Устройство для определения эффективности ингибиторов и удалителей асфальтено-смолопарафиновых отложений // 2082166

Способ аналитического контроля ионов металлов // 2001398