Магнитная головка ц.ля создания магнитного поля при измерениях эффекта холла в тонких пленках
о и и с AQ и е
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
347705
Союз Советоиив
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Заявлено 18.1.1971 (Л" 1624071/18-10) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 10.Ч11!.1972. Бюллетень ¹ 24
Дата опубликования описания 28 Ч111.1972
М, Кл. 6 Olr 33/06
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 538.632:621.317.42 (088.8) Авторы изобретения
В. А. Лабунов и Б. С. Колосницын
Минский радиотехнический институт
Заявитель
МАГНИТНАЯ ГОЛОВКА ДЛЯ СОЗДАНИЯ МАГНИТНОГО ПОЛЯ
ПРИ ИЗМЕРЕНИЯХ ЭФФЕКТА ХОЛЛА В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ
Изобретение относится к радиотехнике, в частности к устройствам, с помощью которых осуществляется изготовление и измерение параметров пленок, используемых в радиотеяшческнх устройствах.
Известные конструкции магнитных головок, применяемые в измерительных установках не позволяют измерять холловскпе характеристики непосредственно в вакуумной камере и в процессе напыления пленки. При извлечении пленки из камеры на ней мгновенно образуется тончайший слой окисла, препятствующий нолучешпо точных результатов. Кроме того, после замеров вновь производить напылеш|е не представляется возмо>кным — препятствует окисел.
Цель изобретения — осуществление измерений непосредственно в вакуухшой камере в процессе напыления.
Для этого в предлагаемом устройстве сердечник и перемычка соединены между собой шарнирно, а на торце среднего стержня закреплена вместе с маской подложка с предварительно напыленными на нее токовыми и холловскими контактами, при этом в процессе напыления и па время измерений сердечник и перемычка соответственно размыкаются и замыкаются.
На чертеже схематично изображено предлагаемое устройство. устройство содержит распаечные клеммы 1, на держателе которых коммутирлотся выводы холловских контактов (на чертеже не показаны), откидную пружину 2, катушку электромапшта (головки) 8, тягу 4, средний стержень
5, llog. o« | i. 6, xit3cI(i 7, каркас 8, IIp) >киннын за>к!гм 9, колдовские контакты 10, голок 11, Ш-образный сердечник 12, перемычку 18, изоляционную прокладку 14, дополшITåëbíûå уголки 15, шарнирное соединение 16 и скобу 17.
В зазор между средш1м стержнем 5 и перемычкой 18 помещают подложку 6, а на нее кладут маску 7. Подложку и маску закрепля15 ют зажимами 9 на торце стержня 5. В вакуумной камере головку крепят на уголках так, чтобы перемычка 18 находилась прямо над нспарптелем. К началу напыления перемычка откидывается в1шз, наптпляемый материал
20 осаждается на подложке. По достижении требуемой толщины напыления управляющий сигнал через тягу 4 и скобу 17 воздействует на перемычку. Последняя перекрывает магнитопроводящие стержни сердечника 12, замыкая
25 тем самым магнитопровод и прекращая подачу напыляемого материала на подложку.
Предмет изобретения
Магнитная головка для создания магнитно30 го поля при измерениях эффекта Холла в TOH
347705
12 л (ф
Ви0А ео снлтай перемычкой
Составитель Б. Переверзев
Техред Л. Богданова Корректор С. Сатагулова
Редактор Т. Иванова
Заказ 2640/6 Изд. № 1!08 Тираж 406 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытии при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская паб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 ких пленках, содержащая катушки индуктивности и Ш-образный сердечник с укороченным средним стержнем, перекрываемым с зазором перемычкой, отличающаяся тем, что, с целью осуществления измерений непосредственно в вакуумной камере в процессе напыления, сердечник и перемычка соединены между собой шарнирно, а на торце среднего стержня закреплена вместе с маской подложка с предварительно напыленными на пее токовымн и холловскими контактами, при этом в процессе напыления и на время измерений сердечник и перемычка соответственно размыкаются и замыкаются.
