Устройство для совмещения и экспонирования

326669

Союз Советскик

Социалистическитт

Республик

Зависимое or авт. свидетельсгва №

Заявлено 18.IV.1969 (№ 1325789/26-25) М. Кл. Н Cll 7/68 с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 19.1.1972. Бюллсгсиь ¹ 4

Дата опубликования описания 6.III.1972

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.328.002.54 (088.8) Авторы изобретения

Ю. П. Клюев, А. Д, Аксенов и А. А. Чернявский

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ И ЭКСПОНИРОВАНИЯ

Изобретение относится к оборудованию полупроводникового производства, в частности к установкам для совмещения рисунка на подложке с рисунком на фотошаблоне и экспонирования при фотолитографии.

Известны установки для совмещения и экспонирования, содержащие устройство для совмещения, оптическую систему для визуального контроля совмещения, источник света для экспонирования. Эти установки при использовании их для совмещения рисунков, имеющих элементы размером несколько микрон, не обеспечивают точной и постоянной величины микрозазора между подложкой и фотошаблоном, в частности, из-за перемещения подложки в вертикальной плоскости пневмоприводом.

Целью изобретения является создание установки для совмещения иэкспонирования,обеспечивающей более высокую точность установки микрозазора между подложкой и фотошаблоном.

Цель достигается тем, что привод манипулятора для точного вертикального перемеще п я подложки выполнен в виде электромагнита и двух независимых шарнирно установленных на оси рычагов. Один из рычагов верхним плечом находится в постоянном контакте с нижней клиновой направляющей, а нижним плечом, являющимся якорем электромагнита, связан с другим рычагом, обеспечивающим точное перемещение нижней клтшо вой направляющей.

На чертеже изображено предлагаемое уст5 ройство для совмещения и экспонирования.

Устройство состоит из оптического устройства 1, источника света 2, корпуса 8 с фотошаблоном 4, стола 5 со сферической опорой для размещения подложки 6, снабженного

10 манипулятором 7 с клиновой направляющей

8 вертикального перемещения и клиповой направляющей 9 горизонтального перемещения подложки. Направляющие скреплены между собой пружиной 10.

15 Привод перемещения клиновой направляющей 9 состоит из рычага 11 независимого перемещения, рычага 12, прижатого пружиной

13 к клиновой направляющей 9, и рычага 14 с электромагнитом 15, снабженны м тумбле20 ром 16. Рычаг 14 может перемещаться от кулачка 17.

Подложка 6 располагается на столе 6, а фотошаблон 4 закрепляется в корпусе 8. Затем рычаг 11 отводится, и клиновая иаправ25 ляющая 9 перемещается в горизонтальной плоскости при помощи пружины 10, поднимая клиновую направляющую 8, которая прижимает подложку 6 к фотошаблону 4. После прижима подложки рычаг 12 останавливает30 ся вместе с клиновой направляющей 9, вклю326669

Предмет изобретения

4) v5 и/,) ф

Y- 17

Составитель В. Гришин

Тсхрсд 3. Тар" íåíко

Редактор Т. Орловская

Корректор Е. Михеева

Заказ 512il Изд. ¹ 95 Тиратк 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, )К-35, Раушская иаб., д. 4(5

Типография, пр. Сапунова, 2 чается тумблер 16, и электромагнит 15 жестко соединяет рычаг 14 с рычагом 12. Далее рычаг 14 отводит в обратном направлении кулачком 17 клиновую направляющую 9 на определенное расстояние так, что между подложкой б и фотошаблоном 4 образуется микрозазор. Затем при помощи манипулятора 7 осуществляется совмещение, контролируемое через оптическое устройство. После того как совмещение произведено, подложка снова прижимается к фотошаблону, оптическое устройство отводится в сторону, на его место подводится источник света и производится экспонирование.

Устройство для совмещения и экспонирования рисунка подложки с рисунком фотошаблона, содержащее оптическую систему, источник света, корпус для размещения фотошаблона, стол для закрепления подложки, манипулятор горизонтального перемещения подложки, манипулятор вертикального переме5 щения подложки с верхней и нижней клиновыми направляющими и приводами грубого и точного перемещения, отличающееся тем, что, с целью повышения точности установки микрозазора между подложкой и фотошабло10 ном при их совмещении, привод манипулятора для точного вертикального перемещения подложки выполнен в виде электромапшта и двух независимых шарнирно установленных на оси рычагов, один из которых верхним пле15 чом находится в постоянном контакте с нижней клиновой направляющей, а нижним плечом, являющимся якорем электромагнита, связан с другим рычагом, обеспечивающим перемещение нижней клиновой направляю20 щей.