Преобразователь механических смещений и сил в электрические сигналы
1 . ч ю но-, 315068
О П И СА Н И Е
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 12Л.1970 (№ 1393681/25-28) МПК Ст 0117/16 с присоединением заявки №
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Приоритет
Опубликовано 21Л1Х.1971. Бюллетень М 28
Дата опубликования описания 23.XI.1971
УДК 621.315.592.2 (088.8) Автор изобретения
Ю. П. Евдокимов
Заявитель
ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЪ МЕХАН ИЧ ЕСКИХ СМЕЩЕНИЙ И СИЛ
В ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СИГНАЛЫ
Предмет изобретения
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля смещений, скоростей, сил, вибраций и т. д.
Известен преобразователь механических смещений и сил в электрические сигналы на основе МОП-транзистора, содержащий полупроводник, на поверхности которого расположен слой изоляционного материала — окисла, и металл, размещенный над окислом.
Предлагаемый преобразователь отличается от известного тем, что металл установлен над окислом с зазором и может перемещаться в нем, приближаясь к полупроводнику или удаляясь от него. Чувствительность этого преобразователя более высокая.
На фиг. 1 схематически изображен описываемый преобразователь; на фиг. 2 — то же, разрез по А — А на фиг. 1.
Преобразователь содержит полупроводник 1, на поверхности которого расположен слой 2 изоляционного материала — окисла, и размещенный над ним металл 8, инерционный груз 4 или вместо груза соединение металла с внешними механическими смещениями каких-либо поверхностей и электроды 5 и б (выводы от диффузионных зон примесей полупроводника). Между металлом и окислом имеется зазор 7, в котором металл может перемещаться, приближаясь к полупроводнику или удаляясь от него. Зазор получается путем нанесения на окисел преобразователя легкоплавкого вещества, например боросиликатного стекла или стекла на основе мышьяка, перед помещением металла и удалением этого вещества, в частности путем испарения после помещения металла, При смещении полупроводника, закрепленного на подвергаемой контролю вибрирующей поверхности, вследствие инерции груз 4 заставит металл сместиться, т. е. зазор между металлом и окислом будет уменьшаться или увеличиваться в зависимости от направления действующего механического импульса. Если металл приблизится к полупроводнику, в частности, под действием инерционного груза, то пространственный электрический заряд в канале и выходной ток преобразователя увеличатся. При удалении металла от полупроводника пространственный заряд и выходной ток преобразователя уменьшатся.
Преобразователь механических смещений и сил в электрические сигналы, содержащий полупроводник, на поверхности которого расположен слой изоляционного материала— окисла, и металл, размещенный над окислом, 30 отлича>ощийся тем, что, с целью повышения
315068
Фиг. 2
Составитель О. Малеева
Редактор Л. М. Жаворонкова Техред Л. Н. Богданова Корректоры: Н. Коваленко и В. П, Федулова
Заказ 3255/9 Изд. № 1376 Тираж 473 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 чувствительности, металл установлен над окислом с зазором, в котором металл может перемещаться, приближаясь к полупроводнику или удаляясь от него.
