Устройство для электрической формовки тонкопленочных конденсаторов

О П И С А Н И El 294I87

Oem Советских

Социалистических

Республик

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЪСТВУ

Зависимое от авт. "âèäåòåëüñòâà ¹

МПК Н 01д 13/00

Заявлено 24.Х1.1969 (№ 1377600126-9) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 26.l.1971. Вюллстсш ¹ 6

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

У,ЧК 621.319.4(088.8) Дата опускчнкованпя опнс;Illllsl 16.111.1971

Автор нзобрстсш|я

И. П. Михайловский

Заявитель

Институт математики СО АН СССР

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ФОРМОВКИ

ТОН КОПЛ ЕНОЧ НЫХ КОНДЕНСАТОРОВ

Настоящее изобретение относится к технологии производства радиодеталей, а име|шо к конструктивному выполнению устройства для электрической формовки тонкопленочных конденсаторов.

Известны устройства для электрической формовки тонкопленочных конденсаторов, с0дсржасцис источник формующего напряжения постоянного тока и выключатель в цепи этого источника. Однако эти устройства не позволяют получить «онденсаторы, обладающие вь,сокой электрической прочностью вслсдствис. возникновения проводящих участков после окончания процесса формовки и возникновения подобных участков под действием переходных процессов при коммутации формующего тока.

Целью настоящего изобретения является создание устройства, обеспечивающего повышение качества электрической формовки тонкопленочных конденсаторов.

Для этого к одной обкладке формуемого конденсатора подключают анод элсктрохимической ячейки, а к второй обкладке — эмиттер вкл|оченного в цепь формующего тока транзистора, коллектор которого соединен с источником формующего напряжения, а база с источником управляющего напряжения.

Схема устройства изображена на epTeæe.

Тонкоп 7CIIotIIII>IÉ конденсатор, снабженllhIÉ

Мета 7.7IIЧССКНМН ООКЛадиаМИ 1 Н 2, IIleil,7s торыми размещена диэлектрическая пленка

8, помещают в электролитическую ячейку 4.

Транзистор 5 включен последовательно в цепь формующего тока. Змиттер 6 транзистора соед шен с обкладкой 2, коллектор 7 с отрнцате7»IIII по Ilocorl источника 8 формующего напряжения, а база 9 через трансфор10 матор 10 подкл)очена к источнику 11 управляющего напряжения. Положнтсльныи полюс источника с3 срез диод 12 соединен с обкладкой 1, подключенной к аноду ячейки -1. Положительный полюс источшска 18 анодного на15 нряжения соединен через выключатель И и диод 15 с обкладкой 1. Отрицательньш полюс источника 1 3 соединен с катодом 16 ячейки 4.

Транзистор работает в ключевом режиме. Отпирающий пмнульс напряжения на трансфор20 матор подается после срабатывания выключателя. Импульс тока, сформированный транзистором, вызыва T электротепловое разрушение IlpoBoдящего канала в тонкопленочном конденсаторе, образование кратера и оксиди25 рованнс мсталли сскнх выступов обкладки 1.

После спадания тока и возрастания напряжеIInsl оксиди17ованнс обкладки 2 прекрантаезся, а оксиди17ованнс оок:!адни 1 В ооластп I paTepa продолжается. В результате роста окнс30 ной пленки в области кратера новых коротких

294187

П р едм ет изобретения

Составитель Ю. Козлов

Редактор E. Г. Гончар Тскрсд А. А. Камышникова Корректор Л. Б. Бадылама

Изд. № 271 Заказ 617, 5 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 5К-35, Рауп1скал наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

I3мыканиЙ Не IIpoHcxo7IHT, H данный участок

|ерез некоторое время становится устойчивым к пробою. Применение бесконтактной коммугации устраняет опасность пробоя в моменты коммутации формующего напряжения.

Устройство для электрической формовки го копленочных конденсаторов, содержащее источник формующего напряжения и выключатель, отличаюи1ееся тем, что, с целью повыгцения качества формовки, одна обкладка конденсатора подключена к аноду электрохимической ячейки, а другая обкладка †эмиттеру включенного последовательно в цещ формующего тока транзистора, коллектор которого соединен с источником форм ницего напряжения, а база — с источником управ1р ляющего напряжения.