Двухлучевой интерферометр для измерения линейных перемещений
АНИЕ
ТЕНИЯ
СВИДЕТЕЛЬСТВУ
284306 етельства № № 1359966/25-28) Кл. 42b, 12,, 01
МП11 С 01b 9> 02
УД1 531.715.1(088.8) Бюллетень ¹ 32 исания 4,1.1971
Авторы изобретения
М. Л. Бржезинский и Г. В. Симахина
Заявитель
ДВУХЛУЧЕВОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ
ЛИНЕИНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ
Предмет изобретения
Настоящее изобретение относится к области измерительной техники и мотет найти применение для измерения длин, деформаций и других аналогичных величин.
Известен двухлучевой интерферометр для измерения линейных перемещений, построенный по схеме Майкельсона и содержащий основание, источник монохроматического света, коллиматор, зеркала, полу проз рачную пластину для разделения светового пучка .на две ветви и наблюдательную систему.
С целью IIQâûøåíêÿ точности и расширения диапазона измерения предлагаемый двухлучевой интерферометр снабжен двумя парами регулируемых между сооой блоков от ражательных призм, рас положенных на основании во взаимно перпендикулярных плоскостях, и плоским зеркалом с отверст . ем, установленным в одной из ветвей интерферометра.
На чертеже показана cxevа описываемого двухлучевого интерфе рометра.
Интерферометр содержит основание 1, источник монохромагического света 2, коллиматор 8, зеркала 4 — 10, полупрозрачную пластину 11 для разделения световогс пучка на две ветви и наблюдательную систему 12.
Две пары регулируемых между собой блоков, отражательных призм 18 — 1б, расположены на основании во взаимно пер пендикулярных плоскостях, а плоское зеркало 17 с отверстием установлено в одной пз ветвей интерферометрз.
Раоотает интерферометр следующим ооразом.
Свет от источника направляется в коллиматор, выходит из него пара".,ëåëüíûì пуч nor, зеркалом 4 направляется на пластину, где делится на два пучка. Один из пу гдов падает на зеркало б, установленное на подвижной ре10 гулируемой платформе 18, а второй .пучок зеркалами 7, 8 и призмами 18 направляется на призму 14. После многократного отражения этот пучок возвращается в пластину, интерферируя с пучком ветви зеркала б.
15 Интер ференционная картина повышенной чувствительности наолюдается в системе 12.
Проверяемый прибор 19 своим наконечником мотет контактировать с торцовой плоско тью каретки 20, и тогда проверяют погреш20 ность его показаний при вертикальном положении. Если же он своим наконечником контактирует с кареткой 21, то происходит его проверка в го ризонтальног глоскости.
Двухлучевой интерферометр для измерения линейных перемещений, построенный по схеме
Майкельсона и содержащий основание, ис30 точник монохроматического света, коллима284306
Составитель Л. Лобзова
Редактор М. В. Макарова Техред А. А. Камышникова Корректор Л. В. Юшина.
Заказ 3671/14 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений. и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 475
Типография, пр. Сапунова, 2 тор, зеркала, полупрозрачную пластину для разделения светового пучка на две ветви и наблюдательную систему, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и расширения диапазона измерения, он снабжен двумя парами регулируемых= между собой блоков отражательных призм, расположенных на основании во. вз ивЖЬ,перпудифлярных плоскостях, и .плоским зеркалом с отверстием, уста5 новленным в одной из ветвей интерферометра.
