Голографический способ контроля оптических
f5 Э ъ 1. бибпнотын .1 . :.; эа
0ПИ САНИ Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
277269
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Кл. 42Ь, 12)05
Заявлено 19,111.1969 (№ 1312587/18-10) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 22.Ч11.1970. Бюллетень № 24
Дата опубликования описания 14.Х.1970
Комитет по лелем изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
МГ1К G 01Ь 11/02
G 01b 15 00
УДК 621.9.015(088.8) Авторы изобретения Г. Н. Буйнов, А. В. Лукин, С. О, Мирумянц и К. С. Мустафин
Заявитель
ГОЛОГРАФИЧЕСКИЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ ОПТИЧЕСКИХ
ПОВЕРХНОСТЕЙ
Изобретение относится к оптическим методам исследования качества поверхностей.
Известные голографические методы контроля качества оптических поверхностей требуют изготовления эталонных поверхностей, волновой фронт которых используют для сравнения с волновым фронтом контролируемой поверхности.
По предлагаемому способу для расширения диапазона его применения и повышения точности эталонный волновой фронт восстанавливают с голограммы, изготовленной, например, механическим способом непосредственно по расчетным данным исследуемой поверхности.
На чертеже дана принципиальная схема устройства; реализующего предлагаемый способ.
За источником 1 света, например лазером, соосно с ним расположены коллиматор 2 и контролируемая поверхность 3, между которыми установлена светоделительная пластина
4, по одну сторону от которой расположено плоское зеркало б, а по другую — голограмма б.
Голограмму изготавливают каким-либо способом, например механическим по расчетным данным, полученным по известному уравнению эталонной поверхности, и устанавливают параллельно плоскому фронту волны, отраженному от зеркала б и прошедшему через светоделительную пластину 4. Контролируемую поверхность 8 устанавливают так, чтобы ось симметрии фронта волны, отраженного от нее и направленного на голограмму б, была перпендикулярна плоскости голограммы.
В этом случае световой поток, отраженный контролируемой поверхностью, освещает голограмму и восстанавливает волновой фронт.
Если поверхность 8 не имеет отступлений от заданной формы, то картина интерференции, создаваемая голограммой (восстановленной и плоской волной), представляет собой равномерный фон. В случае отступления контролируемой поверхности от заданной формы возникают интерференционные полосы, по которым определяют качество оптической поверхности. Таким образом, предлагаемый способ позволяет исключить операцию изготовления эталонной поверхности и устранить ошибки контроля испытуемой поверхности, обусловленные неточностью изготовления эталонной поверхности. Ошибки же изготовления эталонных поверхностей неизбежны и особенно велики в случае изготовления асферических поверхностей высокого порядка из-за отсутствия надежных методов контроля. В то же время технические возможности позволяют рассчитывать и изготавливать искусственные голограммы с достаточно высокой степенью
277269.
Предмет изобретения
Составитель М. Илленко
Редактор Т. Иванова Корректор С, А. Кузовенкова
Заказ 2892/7 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, OK-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр, Сапунова, 2 точности. Например, при механическом способе изготовления голограмм путем использования технологии изготовления диффракционных решеток, можно изготавливать искусственные голограммы асферических поверхностей с угловой апертурой до 90 . В случае применения предлагаемого способа для контроля асферических поверхностей целесообразно применять одноосевую схему интерферометра. Тогда голограмма представляет собой систему концентрических колец, закон распределения которых определяется уравнением контролируемой а сферической поверхности, а процесс изготовления такой голограммы значительно упрощается.
Голографический способ контроля оптических поверхностей, преимущественно асферических, заключающийся в сравнении волнового фронта от исследуемой поверхности с эталонным волновым фронтом, восстановленным с голограммы, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона применения способа и повышения точности, эталонный волновой фронт восстанавливают с голограммы, изготовленной, например, механическим способом непосредственно по расчетным данным исследуемой поверхности.
