Ерения малых потоков газа, напускаемых
СПИ САНИ Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ABTGPCHGMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик ъе в (.(Зависимое от авт. свидетельства,"з
Заявлено 19.1V.!969 (№ 1324882/!8-10) Кл. 42е, 23/05
421, 14/10 с присоединением заявки %
Приоритет (ЧПК G 01 ° 1/00
G 01/ 27/00
УДК 681.! 21.8(088,8) Комитет по делам изобретений и открытий
Опубликовано 28.1Х.1970. Бюллетень ¹ 30
Дата опубликования описания 17.XI I.1970 при Совете Министров
СССР ц „1Я.,",Щ 1й хв хв
Н. П. Катрич, H. А. Косик и И, Ф. Михайл в д, Ъ (°
ping((f f7*.Ä т 11
Лгггор ы пзобрс гсшгя
Заявитель
«тт е (:ПОСОЬ ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ ПОТОКОВ ГАЗА, НАПУСКАЕМЫХ
Ь ВАКУУМНЫИ ОЬЪЕМ
15
Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано, в частности, при градуировке вакуумных манометров.
Известные способы измерения регулируемых малых потоков газа, напускаемых в вакуумный объем, не позволяют тонн(о измерять малые потоки газа в области сверхвысокого вакуума.
По предлагаемому способу для,повышения точности измерения газ перед напуском ионизуют и формируют в однородный ионный пучок, а затем вводят ионный пучок в вакуумный объем, где его нейтрализугот на металлической мишени, и по току ионного пучка судят о величине газового потока.
В процессе формирования однородного ионного пучка все примеси (нейтроны и другие заряженные частицы) удаляются, например, с помощью магнитного сепаратора и системы дифференциальной откачки и в вакуумн(ый объем вводятся только ионы.
Нейтрализация ионов в вакуумном объеме осуществляется на металлической мишени, для которой коэффициент захвата ионов данного сорта напускаемого газа равен нулю (например, молибден для водорода). О величине газового, потока судят по току пучка ионов
Л вЂ” — = /г 1; k=—
1 (7 где У вЂ” количестьо вводимых частиц;
l — ток пучка ионов; (7 — заряд иона.
Предлагаемый способ позволяст измерять л тор потоки порядка 10 <в сек
Предмет изобретения
Способ измерен(ия малых потоков газа, напускаемых в вакуумный объем, от гачаюЧ(ийся тем, что, с целью повышения точности измерения, газ перед напуском ионизуют и
20 формируют в однородныи ионный пучок, а затем вводят ионный пучок в вакуумный объем, где его нейтрализуют на металлической мишени, и по току ионного пучка судят о величине газового потока.
