Способ определения толщины пленки
279 97l
ОГ1ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Сома Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 05.XI.1967 (№ 1195183f25-28) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 26.Ч!!1.1970. Бюллетень № 27
Дата опубликования описания 27,XI.1970
Е,л. 42b, 12/03
Комитет оо делам иасбретвний и открытий ври Совете Министров
СССР.ЧПК б 01Ь 7/06
УДК 531.717.11(088,8) Авторы изобретения
А. Т. Белевцев, А. П. Пятницкий и Е. А. Бесшапошников
Заявитель
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНКИ
Известен способ определения толщины пленки по величине ее омического сопротивления.
Предлагаемый способ отличается от известного тем, что пленку наносят на подложку слоем переменной толщины, например клинообразным, и замеряют сопротивления участков пленки при возвратно-поступательном движении трущегося по ее поверхности контакта. Оптимальной толщиной при заданном количестве перемещений контакта считают толщину участка, на котором изменение сопротивления не превышает класса точности резистивного элемента.
Эти отличия создают условия для определения оптимальной толщины резистивной пленки при работе ее на истирание, например в переменных резистивных элементах.
Нанеся на подложку резистивную пленку переменной толщины, например клинообразную, замеряют сопротивления участков пленки между каждой парой выводов при возвратно-поступательном движении трущегося по поверхности пленки контакта.
Оптимальной толщиной при заданном количестве перемещений контакта считают толщину участка, на котором изменение сопротивления не превышает класса точности резистивного элемента.
Предмет изобретения
10 Способ определения толщины пленки по величине ее омического сопротивления, отличающий ся тем, что, с целью определения оптимальной толщины резистивной пленки при работе ее на истирание, например, в пере15 менных резистивных элементах, пленку наносят на подложку слоем переменной толщины, например клинообразным, производят замеры сопротивлений участков пленки при возвратно-поступательном движении трущегося по
20 поверхности пленки контакта и оптимальной толщиной при заданном количестве перемещений контакта считают толщину участка, на котором изменение сопротивления не превышает класса точности резистивного элемента.
