Емкостной датчик для контроля толщины плоских диэлектрических материалов

 

274362

ОП ИСА НИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сома 698ITCltNI

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства—

Заявлено 27.11.1969 (ЛЪ 1306468 25-28) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Кл. 42b, ll

МПК б Olb 7/08

УДК 531.717.521(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Мииистров

СССР

Опубликовано 24Х!.1970. Бюллетень № 21

Дата опубликования описания 28.IX.1970

i

П И. Горшков, В. П. Глебов, Н. Н. Жерновой, В. В. Краченков, „n.,;

В. P. Ьуш, Б. К. Савельев, В. В. Ростокинский и В. А. Г )фий

Калининское конструкторско-технологическое бюро Всес юзйорФ,» и. ". научно-исследовательского института источников то а

Авторы изобретения

Заявитель

ЕМКОСТНОЙ ДАТЧИК ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ

ПЛОСКИХ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ

Предмет изобретения

Известен емкостной датчик для контроля толщины плоских диэлектрических материалов, содержащий экранный кожух, корпус, выполненный из диэлектрика, и два рабочих электрода, образующих конденсатор.

Предлагаемый датчик отличается тем, что он снабжен вторым конденсатором с двумя рабочими электродами и двумя экранными кольцами, каждое из которых установлено концентрично одному из рабочих электродов конденсаторов, а корпус выполнен в виде симметричной двухполостной вилки, в каждой полости которой на параллельных плоскостях один против другого установлены рабочие электроды, образующие конденсатор так, что электроды с экранными кольцами расположены на смежных поверхностях вилки. Это повышает точность контроля.

На фиг. 1 изображен описываемый датчик; на фиг 2 — разрез по А — А на фиг. 1; на фиг. 3 — разрез по Б — Б на фиг. 1.

Описываемый датчик содержит экранный кожух 1, корпус 2, выполненный из диэлектрика, и два рабочих электрода 3, образующих конденсатор. Кроме того, датчик снабжен вторым конденсатором с двумя рабочими электродами 4 и двумя экранными кольцами 5, каждое из которых установлено концентрично одному из рабочих электродов 8 конденсаторов. Корпус 2 выполнен в виде симметричной двухполостной вилки, в каждой полости которой на параллельных плоскостях один против другого установлены рабочие электроды 3, образующие конденсатор так, что электроды 4 с экранными кольцами 5 расположены на

5 смежных поверхностях вилки.

Для измерения толщины исследуемого диэлектрика последний помещают между обкладками конденсатора. В этом случае об измеряемой величине судят IIO показаниям при10 бора б, включенного в индикаторную диагональ.

15 Емкостной датчик для контроля толщины плоских диэлектрических материалов, содержащий экранный кожух, корпус, выполненный из диэлектрика, и два рабочих электрода, образующих конденсатор, отличающийся тем, 20 что, с целью повышения точности контроля, он снабжен вторым конденсатором с двумя рабочими электродами и двумя экранными кольцами, каждое из которых установлено концентрично одному из рабочих электродов конден25 саторов, а корпус выполнен в виде симметричной двухполостной вилки, в каждой полости которой на параллельных плоскостях один против другого установлены рабочие электроды, образующие конденсатор так, что электро50 ды с экранными кольцами расположены на смежных поверхностях вилки, 274362

9 ыг. З

9 иг.2

Составитель В. Илясова Редактор 3. Твердохлебова Корректор Л, А. Царькова

Заказ 2634(13 Тираж 480 Подписное

ЦКИИПИ Комитсза по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Емкостной датчик для контроля толщины плоских диэлектрических материалов Емкостной датчик для контроля толщины плоских диэлектрических материалов 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может найти широкое применение в системах неразрушающего контроля и измерений толщины пленочных покрытий

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщины металлических покрытий в процессе их образования, например, на металлических деталях, в частности, при нанесении покрытий из паровой фазы пиролитическим способом

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений в поверхностном слое изделий из металлов и сплавов с различными электромагнитными свойствами

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля качества и геометрических размеров изделий и может быть использовано для измерения толщины проводящих покрытий
Изобретение относится к электронной технике и электротехнике и может быть использовано, в частности, в качестве датчиков магнитного поля или тензодатчиков

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины различных покрытий на цилиндрических металлических основах

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к методам и техническим средствам для контроля толщины твердых и полутвердых защитных покрытий, изоляционных слоев, жировых отложений, смазочных и лакокрасочных пленок на электропроводящей, в частности, металлической основе
Наверх