Сесфюзмая л идтен.,..7.,,х»1й:;рсг,^ п:.иг-:.с->&;,:; .д

Авторы патента:

G01B11/06 - для измерения толщины

ОП ИСАНИ Е l72057

И 3 О БРЕТ ЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 42b, 12щ

Заявлено 02.Xll.1963 (№ 868317/26-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 22Х1.1965. Бюллетень № 12

Дата опубликования описания 29.VII.1965

Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССР

МПК G Olb

УДК 53!.717(088.8) СПОСОБ КОНТРОЛЯ

ТОЛЩИНЪ| ПОКРЫТИЯ МАТЕРИАЛОВ

Подписная группа Л6 1б4

Известны способы контроля толщины покрытия материалов путем количественного определения светового потока, отраженного от части поверхности наносимого покрытия, с помощью фотоэлектрического устройства.

Однако при контроле толщины покрытия материалов, имеющих сетчатую структуру (гальваническое, лакокрасочное или химическое покрытие), этот способ не обеспечивает необходимой точности измерений.

Предлагаемый способ позволяет производить контроль толщины покрытий материалов с сетчатой структурой путем измерения интенсивности светового луча, проходящего через отверстия в материале до и после нанесения на него покрытия. Интенсивность светового потока измеряют с помощью, например, фотокалориметра, а затем по графику определяют измеряемую толщину покрытия.

График светопропускания сетки составляют по эталонным деталям, толщина покрытия на которых измеряется методом прямого измерения. Большое количество окон сетки, попадаемых в световой поток фотокалориметра, исключает ошибку из-за отклонения геометрической формы отдельных окон от средней, повышает точность измерений.

10 Пр едм ет изобретения

Способ контроля толщины покрытия материалов путем количественного определения светового потока, отличающийся тем, что, с целью оценки толщины покрытия материалов, 15 имеющих сетчатую структуру, измеряют, например, с помощью фотокалориметра, интенсивность светового потока, проходящего через отверстия в материале до и после нанесения покрытия, и по графику определяют измеряе20 мую величину.

Сесфюзмая л идтен.,..7.,,х»1й:;рсг,^ п:.иг-:.с->&;,:; .д

Патент 160337 // 160337

Патент 159176 // 159176

Машина для автоматического измерения средней толщины, например, жестких кож // 152065

Устройство для контроля толщины прозрачной лаковой пленки // 151036

Способ измерения толщины стенок стеклоизделий // 147327

Интерференционный способ измерения толщины тонких прозрачных пленок // 145756

Малоинерционный прибор для бесконтактного измерения величины петли металла непрерывного сортового стана // 141326

Прибор для непрерывного контроля поперечных размеров пряжи, нитей и т.п. // 134431

Способ контроля кристаллических пластин интерференционно- поляризационных фильтров в процессе их доводки // 121240

Устройство для неразрушающего измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок // 2102702

Интерферометрическое устройство для измерения физических параметров прозрачных слоев (варианты) // 2141621

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Способ измерения толщины листового стекла и устройство для его осуществления // 2146355

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Интерферометрическое устройство для бесконтактного измерения толщины // 2147728

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2149353

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Способ измерения оптической толщины плоскопараллельных прозрачных объектов // 2152588

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Устройство для контроля линейных размеров по принципу триангуляции // 2153647

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения // 2157509

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения и устройство для его реализации // 2158897

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2165071

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости