Способ изготовления ферритовых пленочиых элементов памяти
ОПИСАН И Е
ИЗОЬРЕтЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Кл. 21ат, 37/04
2 I g, 31/02
Заявлено 21.II.1968 (№ 1220015/18-24) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 04.V1.1969. Бюллетень № 19
Дата опубликования описания 11.XI.1969
МПК G 11с
Н Old
УДК 681.327.66(088.8) Комитет по лелем изобретений н открытий прн Совете Министров
СССР
Авторы изобретения
Б. Е. Клейман и Я. М. Беккер
Заявитель
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФЕРРИТОВЫХ
ПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ПАМЯТИ
Изобретение относится к области запоминающих устройств и может быть использовано при изготовлении интегральных ферритовых пленочных элементов памяти для запоминающих устройств.
Известен способ изготовления ферритовых пленок с помощью дугового разряда, состоящий в том, что феррит плавят и испаряют с помощью дугового разряда. Катод из ферритовой пластины закрепляют в керамическом держателе, анодом служит молибденовый стержень. Источником постоянного тока, который должен обладать стабильностью не хуже 0,1%, создается дуговой разряд. При этом в ферритовой пластине образуется лунка, в которой содержится испаряющийся расплавленный феррит.
К числу недостатков этого способа следуег отнести неравномерность испарения вследствие колебания тока в дуговом разряде, приводящую к неоднородности пленки; появление примесей; испарение в очень маленькой лунке, а не с поверхности пластины, что ухудшаег свойства пленок, вызывает малую скорость роста и неоднородность пленок.
При предложенном способе все перечисленные недостатки исключены. Способ заключается в том, что источник феррита нагревают до температуры, при которой возрастает электропроводность феррита, например до 300 — 400 С, после чего источник феррита нагревают токами высокой частоты.
Способ поясняется чертежом.
Источник феррита в виде ферритовой пластины 1 нагревают электрическим нагревателем 2 до температуры примерно 300 — 400 С.
При этом электропроводность феррита значительно возрастает. Дальнейший нагрев и испарение производят токами высокой частоты с
10 помощью высокочастотного нагревателя 8. При этом ферритовая пластина равномерно разогревается, и феррит испаряется,на подложку 4, закрепленную держателем 5.
Полученную пленку подвергают последую15 щей термообработке в печи, например при
1000 С в течение l час.
Применение способа испарения феррита за счет увеличения его теплопроводности позволяет повысить скорость испарения с поверхно20 сти всей пластины, увеличить однородность получения пленки, исключает появление примесей и обеспечивает более стационарный рост пленок.
25 Предмет изобретения
Способ изготовления ферритовых пленочных элементов памяти путем испарения феррита на подложку с последующей термообработкой, 30 отлича ощийся тем, что, с целью получения
245179
Составитель А. А. Соколов
Редактор Л. В. Калашникова Техред Т. П. Курилко
Корректоры: М. Коробова и А. Абрамова
Заказ 2679/18 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2 однородных магнитных пленок, улучшения их магнитных свойств, повышения скорости испарения и устранения примесей, нагревают источник феррита электрическим нагревателем до температуры, при которой возрастает электропроводность феррита, например до 300—
400 С, и подвергают источник феррита нагреву токами высокой частоты.
