Устройство для совмещения противолежащихэлементов
2444 5I
ОПИСАНИЕ
ИЗОЬРЕт ЕНИЯ
Союэ Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
3 а виси и ое от а вт. с вид стел ьст ь а №вЂ”
Кл. 21а, 75
Заявлено 08.1.1968 (№ 1208269/26-9) с присоединением заявки ¹â€”
Приоритет
Опубликовано 28Х.1969. Бюллетень ¹ 18
Дата опубликования описания 14.Х.1969
МПК Н 05k
УДК 621 04975.002 5 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
AETopы изобретения
М. М. Писаревский и Г. И. Гудовский
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ ПРОТИВОЛЕЖАЩИХ
ЭЛЕМЕНТОВ
Известно устройство для совмещения противолежащих элементов, например контактов микросхем при сварке, содержащее два,подвижных основания, служащих для закрепления совмещаемых элементов, осветитель и микроскоп.
Цель изобретения — повышение точности совмещения.
Достигается это тем, что перед объективом микроскопа установлена оптическая система, состоящая из двух трехгранных призм, над которыми размещена пентапризма, примыкающая к кубу с полупрозрачной диагональю, на котором укреплена третья трехгранная призма, и зеркала. Осветитель выполнен ia виде расположенных между трехгранными призмами и пентапризмой двух ламп с независимым регулированием яркости, разделенных $-образным экраном.
На чертеже изображена конструкция описываемого устройства в двух;проекциях.
Одним из совмещаемых элементов является, например, подложка 1 со схемой, размещенная на подвижном столе 2, а другим элементом является, например, кристалл 8, контактные выводы которого (на чертеже не показаны) обращены к рабочей поверхности подложки 1. Кристалл 8 крепится при помощи подвижного вакуумного присоса 4.
Оптическая система 5, вводимая в пространство между подложкой 1 и кристаллом 8, состоит из,двух трехгранных призм 6 и 7, над которыми размещена пентапризма 8, примыкающая к кубу 9 с полупрозрачной диагональю. Совмещение изображений кристалла
8 и схемы подложки 1 осуществляется на верхней горизонтальной грани куба 9. Призмы устанавливают так, чтобы фигуры под10 ложки 1 и кристалла 8 слились в одно изображение. Полученное общее изображение поворачивают на 90 в третьей трехгранной призме 10, укрепленной на кубе 9, и при помощи зеркала 11 направляют в объектив ми15 кроскопа 12.
Освещаются .подложка 1 и кристалл 8 двумя лампами 18 с независимым регулированием яркости, разделенными $-образным экраном 14.
20 Устройство работает следующим образом.
При выведенной оптической системе 5 на подвижный стол 2 устанавливают подложку
1 со схемой и при помощи микроскопа 12 находят зону схемы с контактами для свар25 ки. Затем при помощи вакуумного присоса 4 подвешивают кристалл 8 контактными выводами вниз, вводят оптическую систему 5, включают и регулируют освещение, перемещают и поворачивают любой из элементов
30 совмещения так, чтобы изображения контак244451
Предмет изобретения
Составитель И. Давыдов
Текред Т. П. Курилко Корректор Л. А. Иголкина
Редакгор В. Кузнецов
Заказ 2571/15 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типографии, пр. Сапунова, 2 тов схемы на подложке 1 и кристалле 8 совпали. После этого оптическую систему о выводят из межэлементного пространства, и кристалл 8 опускают до соединения со схемой на подложке 1. Далее отключают и поднимают,вакуумный присос 4. Совмещенные элементы находятся в поле зрения микроскопа 12 (что обеспечивает контроль за совмещенными элементами) и могут быть сварены или спаяны.
Устройство для совмещения противолежащих элементов, например контактов микросхем при сварке, содержащее два подвижных основания, служащих для закрепления совмещаемых элементов, осветитель и микроскоп, отличающееся тем, что, с целью по5 вышения точности совмещения, перед объективом микроскопа установлена оптическая система, состоящая из двух трехгранных призм, над которыми размещена пентапризма, примыкающая к кубу с полупрозрачной
lO диагональю, на котором укреплена третья трехгранная призма и зеркала, а осветитель выполнен,в виде расположенных между трехгранными призмами и пентапризмой двух ламп с независимым регулированием ярко15 сти, разделенных S-образным экраном.

