Способ изготовления холодных катодов
О П И С А Н И Е 243079
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства Мв
Кл. 21g, 13/03
21д, 13/19
Заявлено 02 т 111.1967 (Мв 1177139/26-25) с присоединением заявки _#_o
Приоритет
Опубликовано 05Л .1969. Бюллетень Хв 16
Дата опубликования описания 18.IX.1969
МПК Н Olj
Н 011
УДК 621.385.032,217.3 (088.8) Комитет по аелам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР р IC
Авторы изобретения н
И. А; Макаров, В. П. Полякова, Л. А. Росновская, Е. М. Савицкий и В. А. Смирнов
Заявитель
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ХОЛОДНЫХ КАТОДОВ
Изобретение относится и электронной техниIce, B частности к технике изготовления холодных катодов, работающих на механизме вторичной электронной эмиссии, для электровакуумных приборов СВЧ М-типа.
Известны холодные катоды из металлов, имеющих высокий коэффициент вторичной электронной эмиссии (к.в.э.э.), например платины и рения.
Такие катоды способны работать в магнетронах и амплитронах с безмодуляторным питанием в режиме длинных импульсов (квазннепрерывный режим) и в непрерывном режиме. Они выгодно отличаются от полупроводниковых оксидных катодов металлической тепло- и электропроводностью, простотой механической обработки, практически неограниченным сроком службы, стойкостью к электронной и ионной бомбардировке. Однако указанные материалы очень дороги, а методы нанесения тонких плотных пленок из них на металлические подложки (медь, нержавеющую сталь, молибден и др.) несовершенны. Так, покрытия из платины, нанесенные гальваническим методом, пористые, плохо сцепляются с подложкой и отслаиваются во время работы катода. При нанесении покрытий плазменным методом получается шероховатая поверхность и теряется значительная часть дорогостоящего порошкового материала, Предлагается в качестве материалов холодных и квазихолодных катодов использовать двухкомпонентные сплавы, одной нз компонент которых является металл с высоким к.в.э.э., например Pt, Ir, OS, Re, а другой— более легколетучий металл, например Сц, А, М идр.
При нагревании в вакууме такого сплава испаряется более летучая компонента (если не образуется каких-либо упорядоченных стру.ктур или химических соединений) и íà поверхности образуется слой менее летучего металла.
Проведено обследование сплавов Pt — Сц с содержанием Pt от 80 до 10 вес. /о. Известно, что давление паров меди при 800 — 1000 С в 10 — 10> раз выше, чем у платины. Сплавы
Pt — -Сц образуют непрерывный ряд твердых растворов и не имеют упорядоченных струк20 тур при этих температурах.
Таким образом, при нагревании в вакууме практически испаряется одна медь, и на поверхности сплава образуется прочный слой платины. Установлено, что после прогрева сплава в вакууме при 900 — 1000 С к.в.э.э. его увеличивается и становится равным 1,8 при энергии первичных электронов 600 — 700 в, т. е. свойства поверхности такого катода аналогичны свойствам поверхности катода из чистой
30 платины.
243079
Предмет изобретения
Составитель Г. А, Жукова
Редактор Б. Б. Федотов Техред А. А. Камышникова Корректор В. В. Трутнев
Заказ 2299/3 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2
Способ изготовления холодных катодов, содержащих металл с высоким коэффициентом вторичной электронной эмиссии, для электровакуумных приборов СВЧ М-типа, например металл платиновой группы, отлачающайс» тем, что, с целью повышения экономичности катода, его изготовляют из сплава, содержащего указанный металл и металл с более высокой упругостью лара, например медь, и прогревают катод в вакууме до испарения с его поверхности металла с высокой упругостью пара.
