Способ активирования вторичноэлектронныхэмиттеров
206727
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Соеетскик
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
li.п. 21g, 13/19
Заявлено 28.111.1966 (№ 1066736/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
О пу бл и ков а но 08. Х11.1967. Бюллетень № 1
Дата опубликования описания 6.11.1968
МПК H Olj
УД1; 621.385.032,217 (088.8) комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Автор изобретения
А. М. Тютиков
Заявитель
СПОСОБ АКТИВИРОВАНИЯ ВТОРИЧНОЭЛЕКТРОННЫХ
ЭМИТТЕРОВ
Известен способ активирования вторичноэлектронных эмиттеров, выполненных из магниевой бронзы, путем их прогрева в кислороде. Однако изменение коэффициента вторичной электронной эмиссии таких эмиттеров (о) после пребывания на воздухе достаточно велико.
Предлагаемый способ активирования эмиттеров из магниевой бронзы отличается от известного тем, что на эмиттер катодным распылением в аргоне или вакуумным испарением наносят слой золота, а окисление сплава проводят при температуре около 500 С до поглощения 10 мкг/см- кислорода при давлении 10 е мм рт. ст.
Исследование свойств эмиттеров показало, что изменение их о. при хранении как в сухом, так и влажном воздухе значительно меньше, чем у эмиттеров, покрытых золотом, и происходит в основном за первые 100 — 150 час хранения. Для достижения максимальной устойчивости активировка эмиттеров со слоями золота должна производиться при температуре около 500 С. При более высокой температуре (650 — 800 С) начинается взаимная усиленная диффузия золота и меди, слой золота обогащается медью, и устойчивость падает. При более низкой температуре (450 С) скорость диффузии магния из сплава через слой золота уменьшается, вследствие чего трудно сформировать достаточно толстый слой окиси магния, обеспечивающий необходимый о. Устойчивость эмиттеров практически не меняется при увеличении слоя золота от 200 до 3500 А.
Слой золота должен наноситься катодным распылением в аргоне либо вакуумным испарением. При нанесении этого слоя катодным распылением в воздухе сплав под слоем золота окисляется и устойчивость эмиттера не отличается от устойчивости для незащищенного сплава.
При использовании предлагаемого способа активирования эмиттеров из магниевой бронзы величина изменения их о при энергиях первичных электронов в 200 †3 эв находится на границе точности измерений (Π— 1,5с/,).
Повышение устойчивости эмиттеров из магниевой бронзы к длительному воздействию воздуха при нанесении на нее слоя золота объясняется, видимо, уменьшением механических напряжений в эмиттирующем слое окисла магния, обусловленным близкими величинами атомных обьемов it коэ;, ф щиентов терми iccKoi0 расширения у окисного слоя и подложки — сплава.
206727
Предмет изобретения
Составитель Г. А. Жукова
Редактор Н. А. Джарагетти Техред Л. Я. Бриккер Корректоры: H. И. Быстрова и О. Б. Тюрина
Заказ 4658/15 Тираж 530 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр. пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2
Способ активирования вторичноэлектронных эмиттеров, изготовленных из магниевой бронзы, путем их прогрева в атмосфере кислорода, отличаюигийся тем, что, с целью повышения устойчивости коэффициента вторичной электронной эмиссии эмиттеров к длительному воздействию воздуха, на сплав катодным распылением в аргоне или вакуумным испарением наносят слой золота толщиной
200 — ЗООА, а последующее окисление проводят при температуре около 500 С до поглощения 10»гкгlс»гз кислорода при давлении
10 - мм рт. ст,
