Патент ссср 180377

ОПИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

I8 0377

Союэ Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 42h, 34/11

Заявлено 17.Х.1964 (№ 925844/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 21.lll.1966. Бюллетень № 7

Дата опубликования описания 5Х.196б

Комитет по делам иаобретеиий и открытий при Совете Мииивтров

СССР

МПК G 02т1

УДК 535.411(088.8) Автор изобретения

5«! !:! Х .11А. х."

Н. В. Королев

Заявитель

ИНТЕРФЕРОМЕТР С ОПТИЧЕСКИМ КВАНТОВЫМ

ГЕНЕРАТОРОМ

В известных интерферометрах отсутствие достаточно монохроматического источника излучения приводит к необходимости введения в схему ветви сравнения.

В предложенном интерферометре применение оптического квантового генератора (ОКГ) позволяет исключить из схемы интерферометра ветвь сравнения. При этом, с целью упрощения схемы и повышения точности измерения, эталонная поверхность выполнена полупрозрачной и установлена в той же ветви,что и исследуемая система или деталь.

На фиг. 1 показана схема предложенного интерферометра для измерения волновых аберраций оптических систем; на фиг. 2— то же, для измерения микропрофиля исследуемой поверхности.

Параллельный пучок света (фиг. 1) от

ОКГ 1 через систему линз 2 и 8, осветительное отверстие 4, коллиматорный объектив 5 направляют на светоделительное зеркало б, от которого свет отражается на эталонное зеркало 7, контролируемую систему 8 и автоколлимационное зеркало 9, направляющее отраженный поток света через светоделительное зеркало б, систему линз 10 и 11 и измерительную систему 12 (винтовой окулярный микрометр) в глаз наблюдателя.

Эталонное зеркало, контролируемая система и автоколлимационное зеркало в целом составляют систему многолучевого интерферометра Фабри-Перо.

Измерение изгиба интерференционных полос производят винтовым окулярным микрометром 12, в полость сетки которого линзы 10 и 11 проектируют зрачок испытываемой оптической системы. Если линза 11 выведена из хода лучей, то в плоскость сетки винтового окулярного микрометра проектируется ряд

10 изображений отверстия 4, При этом, наблюдая в окуляр микрометра, можно осуществить настройку системы интерферометра.

Параллельный пучок света (фиг. 2) от ОКГ

18 через систему линз 14 и 15 направляется

15 на светоделительное зеркало Iб, отражается от него и через линзу 17, эталонное зеркало 18, линзу 19, микрообъектив 20 падает на контролируемую поверхность 21.

Эталонное зеркало 18, линза 19, микрообь29 ектив 20 и поверхность образца 21 образуют ячейку Фабри-Перо.

Наблюдение интерференционных полос и измерение их изгиба производят посредством

25 винтового окулярного микрометра 22.

Система, в состав которой входятлпнза 17, линза 28 и призма 24, проектирует интерференционные полосы, локализованные в плоскости эталонного зеркала 18, на сетку вин30 тового окулярного микрометра 22.

l80377

Предмет изобретения

11 ЯББ!

Фиг,f

24 н

/Б /7

18 Фиг.2

Составитель И. И. Небосклонова

Редактор В. Сорокин Техред А. А. Камышникова Корректоры: Л. Е. Марисич и Ю. М. Федулова

Заказ 951)10 Тираж 850 Формат бум. 60X90 /8 Объем 0,21 изд. л. Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр, Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

Интерферометр с оптическим квантовым генератором, отличающийся тем, что, с целью упрощения схемы и повышения точности измерения, в нем эталонная поверхность выполнена полупрозрачной и установлена в той же ветви, что и исследуемая система или деталь.