Интерференционный способ контроля толщины прозрачнб1х слоев

Союз Советских

Социалистицеских

Респ /блик

l72 085

К KUfQFCI:;ОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 42k, 34гг

42b, 12о5

Заявлено 15Х.1964 (№ 901035/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 22.Ъ 11965. Бюллетень ¹ 12

Дата опубликования описания 24.VII.1965

МПК 6 02d

G 0lb

УДК 531.71(088.8) 621.753 (088.8) Государствеиицй комитет по делам изобРетеиий и открытий СССР

Автор изобретения

Б. A. Шапочкин

Заявитель

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ

ТОЛЩИНЫ ПРОЗРАЧНЫХ СЛОЕВ

Подггасная грутга № 170

Известен интерференционный спосоо контроля толщины прозрачных слоев, образованных на сферических ", асферических поверхностях оптических деталей, в котором освещение слоя монохроматическим светом осуществляется из центра кривизны поверхности, а измерение полученной интерференционной картины — оптической головкой микроскопа с поворотным механизмом.

Однако контроль этим способом в случае значительного угла между. нормалью к поверхности на краю детали и оптической осью затруднен, так как апертура измерительного микроскопа может оказаться недостаточной и интерференционные полосы не будут наблюдаться в микроскоп. Создание специальных поворотных устройств для микроскопа или детали усложняет установку и снижает точность измерения.

Предлагаемый интерференционный способ контроля толщины прозрачных слоев, образованных на поверхностях относительно большой кривизны, отличается тем, что освещение слоя осуществляется из действительного оптического фокуса данной поверхности. Такой способ освещения прозрачного слоя позволяет получить интерферирующие пучки, составляющие малые углы с оптической осью поверхности. Для измерения интерференционIoH картины используют микроскоп с двумя относительными перемещениями — вдоль оптической оси микроскопа и перпендикулярно ей. Кроме того, с целью упрощения конструкции микроскопа из него удалена оптическая головка с поворотным механизмом.

На фиг. 1 изображена принципиальная схема установки для контроля толщины прозрачного слоя на вогнутой поверхности относительно большой кривизны; на фиг. 2 — то же, 10 для выпуклой поверхности оптической детали.

Оптическая деталь 1 с контролируемым слоем 2 освещается монохроматическим источником 8 света из действительного оптического фокуса поверхности.

15 Интерферирующие пучки лучей, отраженные от поверхностей слоя и детали, будут составлять с оптической осью малые углы, и интерференционную картину можно наблюдать на любой зоне детали у через микроскоп 4, 20 ось которого параллельна оптической оси детали. Зная из предварительного расчета теоретическое положение интерференционных полос по зонам поверхности и величину каждого интервала между ними, можно при помо25 щи измерительного .микроскопа измерить смещение соответствующих инт ерференцпонных полос на контролируемом слое и определить отклонение действительной толщины слоя or требуемой. Б установке для контроля толщи30 ны прозрачного слоя на выпуклой поверхно172085

Рыг 7

Л

О

Рог Г

Составитель И. И. Небосклонова

Редактор Н. А. Джарагетти Текред T. Г1. Курнлко Корректор М. И. Козлова

Заказ 1696/18 Тираж 775 Формат бум. 60Х90 /8 Объем 0,16 изд. л. Цена 5 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, д. 2

L сти детали источник 5 монохроматического света совмещен с действительным оптическим фокусом отражательной оптической детали 6.

Интерференционная картина, возникающая B прозрачном слое 7, может наблюдаться с помощью микроскопа 8 через слой стекла оптической детали. При этом необходимо вводить поправку в положение интерференционной полосы, определяемой отрезком у, исходя из положения микроскопа, определяемого отрезком у.

В каждом конкретном случае можно найти тот или иной способ освещения слоя из действительного оптического фокуса поверхности, например, используя светопровод, высокоапертурный конденсор и др.

Способ может быть использован для конт.роля. прозрачных слоев с неравномерной тол;3

3 щиной по зонам детали при асферизации вакуумным способом и т, д.

Предмет изобр етения

Интер ференционный способ контроля толщины прозрачных слоев, образованных на сферических и асферических поверхностях оптических деталей, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения путем

10 исключения поворотных устройств для измерительного микроскопа или детали, освещение слоя производят из действительного оптического фокуса данной поверхности, а измерение полученной интерференционной карти15 ны осуществляют с помощью микроскопа при относительных перемещениях его и данной поверхности — вдоль оптической оси микроскопа и перпендикулярно к ней.