Патент ссср 173454
О П И С А Н И Е I l73454
Союз Советских
Социалистиыеских
Республик
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства ¹ 80251
Заявлено 28Х.1964 (№ 904963/26-10) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 21.И1.1965. Бюллетень № 15
Дата опубликования описания 4.1Х.1965
Кл. 42h> 34„
42Ь, 12„„МПК G 020
G 01Ь
УДК 535.411
531.717.52 (088.8) Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССР
Авторы изобретения
А. Н. Захарьевский и А, Ф. Кузнецова
Заявитель
МИКРОИНТЕРФЕРРОМЕТР
Подписная групгга № 170
В основном авт. св. № 80251 описан микроинтерферрометр, используемый для определения малых перемещений или для определения чистоты поверхностей.
Предложенное дополнительное изобретение расширяет область применения микроинтерферрометра по авт. св. № 80251, поскольку позволяет использовать его в качестве микропрофилометра для получения профилограмм поверхностей с беспорядочно направленными штрихами, например таких, как бугорчатые поверхности мелкошлифованных стекол или твердых металлов. Это достигается тем, что пластинки интерферрометрической части имеют различную толщину; в передней фокальной плоскости окуляра установлена щелевая диафрагма, а за окуляром помещены спектральная призма прямого зрения и отсчетное устройство.
На фиг. 1 показана принципиальная схема микроинтерферрометра; на фиг. 2 — общий вид профилограммы контролируемой поверхности, Микроинтерферрометр содержит источник света 1, полупрозрачную пластинку 2, микрообъектив 8 и интерферрометрический узел, состоящий из двух неравной толщины плоских пластинок 4 и 5. Центральная часть пластинки 4 металлизирована, а одна из поверхностей пластинки 5 покрыта полупрозрачной светоделительной пленкой.
Интерференционная картина, воспроизводящая микропрофиль контролируемой поверх5 ности 6, возникает в плоскости изображения
7 и рассматривается через окуляр 8. В плоскости изображения установлена щелевая диафрагма, и глаз 9 наблюдателя видит одну светлую линию. За окуляром помещена спек10 тральная призма 10 прямого зрения, которая разворачивает светлую линию в спектр, перессченный полосами, число которых зависит от разности хода в двух ветвях интерферрометра. Шероховатость контролируемой по15 верхности изображается в виде зигзагов (см. фиг. 2) на этих полосах. Зигзаги на всех полосах одинаковы, поэтому для измерения можно использовать любую из полос.
Устройство для отсчета измеряемых вели20 чин (высоты зигзагов) выполнено в виде проекционной системы, содержащей источник света П и щелевую диафрагму 12, расположенную в фокальной плоскости линзы И.
Система проецирует на спектральную приз25 му 10 отсчетный индекс, представляющий собой светлую линию. Перемещение светлой линии в поле зрения осуществляется поворотом спектральной призмы вокруг оси 14 при помощи микрометренного винта 15. Отсчет
3> величины перемещения светлой линии произ173454
cue I
Фиг. 2
Составитель А. С. Масленкова
Редактор Л. A. Утехина Техрсд Л. К. Ткаченко Корректор Л. Е. Марисич
Заказ 2204(15 Тираж 775 Формат бум. G0X90 /8 Обьем 0,16 изд. л. Цена 5 коп.
Ц1-1ИПИИ Государственногэ комитета по делам изобретений и открытий СССР
Москва, Центр, пр. Серова, 4
1 ипография, пр. Сапунова, 2 водят по отсчетному барабану 16 микрометренного винта.
Г! редмет изобретения
Микроиптерферрометр по авт. св, ¹ 80251, отличаюи ийся тем, что, с целью использования его в качестве микропрофилометра, пластинки ннтерферрометрической части имеют различную толщину; в передней фокальной плоскости окуляра установлена щелевая ди. афрагма, а за окуляром помещены спектраль ная призма прямого зрения и отсчетное устройство, выполненное, например, в виде про5 ецируемого на спектральную призму светового отсчетного индекса, вводимого в поле зрения поворотом спектральной призмы при помощи микрометренного винта с отсчетным барабаном.
