Травитель для монокристаллов нитрита натрия
Изобретение касается исследования дефектной структуры материалов и может быть использовано при производстве приборов, работающих на сегнетоэлектриках. Цель изобретения - выявление дислокаций в кристаллах. Травитель для монокристаллов нитрита натрия содержит этиловый спирт с добавкой 0,05-0,10 мас.% хлорида кальция. 1 табл.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (si)s С 30 В 33/00,29/10
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4636326/31-26 (22) 13.01.89 (46) 07.12.90. Бюл. ЬЬ 45 (71) Физико-техн ичес кий институт им.А.Ф.Иоффе (72) В.А.Иванцов и В.И.Николаев (53) 621.315.592(088.8) (56) Sawada А., АЬе R. - Japanese Journal of
АррПе4 Physics, 1969. v.8; М 2, р. 202 — 206.
Изобретение относится к области исследования дефектной структуры материалов и может быть использовано при производстве приборов, работающих на сегнетоэлектриках.
Цель изобретения — выявление дислокаций в кристаллах.
Пример, Для приготовления состава используют следующие реактивы: этиловый спирт "Осч 20-5", кальций хлористый (плавленный) "Ч".
В стакан из фторопласта с помощью .мерного цилиндра отмеряют 250 мл (99,93 мас.$) этилового спирта, после чего добавляют взвешенный на технических весах первого класса порошок хлорида кальция в количестве 140 мг (0,07 мас. $). Затем состав перемешивают с помощью магнитной мешалки OP 913/3 в течение 15 мин и разливают в стеклянные бюксы емкостью
50 мл.
Исследуемые образцы представляют собой ромбические в сечении прямые призмы, выколотые по плоскостям спайно. сти,101), или прямоугольные призмы с, Я1, 1612000 А1 (54) ТРАВИТЕЛЬ ДЛЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ
НИТРИТА НАТРИЯ (57) Изобретение касается исследования дефектной структуры материалов и может быть использовано при производстве приборов, работающих на сегнетоэлектриках.
Цель изобретения — выявление дислокаций в кристаллах. Травитель для монокристаллов нитрита натрия содержит этиловый спирт с добавкой 0,05-0,10 мас. хлорида кальция. 1 табл. квадратными основаниями, ориентированными вдоль 100}и f0013 плоскостей. Их высота не превосходит 25 мм, а размеры сторон оснований равны в среднем 8 мм.
Образцы зажимаются пинцетом с фторопластовыми наконечниками и погружаются в приготовленный трав тель на 10 — 30 с. 3атем они вынимаются, споласкиваются в чистом этиловом спирте в продолжении 1 — 2 с и высушиваются в потоке теплого воздуха от тепловентилятора. Поверхности обработанных образцов исследуют в оптическом микроскопе МБИ-15У4,2 и электронном просвечивающе .i микроскопе УЭМ-100, Исследования показали, что дислокационные ямки травления выявляются после обработки травителем лищь на поверхностях ()01}.
При проведении нескольких поочередных травлений основания призматических образцов шлифуются на мелкой наждачной бумаге и полируются на слегка влажной фильтровальной бумаге.
Глубина ямок травления, оцененная по теневому контрасту в электронном микро" скопе, составляет в среднем 2,5-3,0 мкм.
1612000
Время обработки, с
Кристаллографическая ориентация поверхности кристалла
Результаты обработки
Состав т авителя, мас.
Этиловый спирт
Хлорид кальция
0,02
99,98
Слабое селективное травление
)101j
0,07
99,93
99,85
11 013
0,15
0,01 010
Выявление доменной структуры, отсутствие дислокационных ямок
99,99
j 0103
f010) 20
То же
0,05
99,95
Выпадение микрокристалликов
0,13
99,87
$100(, j001j
Полировка поверхности
0,015
99,985
99,90
jioo), {оы оо,{ooi) То же
0,10
0,12
99,88
Влажность воздуха влияет на получение качественных результатов травления. Четкого травления достигают, когда влажность не превосходит 35 — 40 . В том случае, когда атмосферная влажность выше, вправление необходимо проводить в герметичном боксе, снабженном резиновыми рукавами-перчатками,с установленными в нем чашками с силикагелем марки ACM.
При иСпользовании других количественных соотношений компонентов, входящих в предлагаемый травитель, его получение проводится в соответствии с укаэанным примером. Во всех приготовляющихся растворах осуществляется обработка изготовленных образцов с последующим исследованием их поверхности.
Составы травителя для обработки нитрита натрия и результаты исследований приведены в таблице.
Таким образом, из данных таблицы следует, что предлагаемый травитель в отличие от известного позволяет выявлять выходы. дислокаций на поверхностях 10Я кристал5 ла. Глубина дислокационных ямок травления составляет в среднем 2,5-3,0 мкм.
Достоинством предлагаемого травителя является воэможность определения дислокационной структуры кристаллов нитрита
10 натрия после обработки в нем. С его помощью впервые установлено существование дислокационных стенок, расположенных вдоль границ между доменами.
Формула изобретения
15 Травитель для монокристаллов нитрита натрия, содержащий этиловый спирт с добавкой, отличающийся тем, что, с целью выявления дислокаций в кристаллах, в качестве добавки травитель содержит хло20 рид кальция в количестве 0,05 — 0,10 мас. .
Эффективное травление выходов дислокаций
Эпитаксиальное наростание кристаллитов
Образование осадка на поверхности образцов.
