Разложением галогенидов кремния или галогенсиланов или восстановлением их водородом в качестве единственного восстанавливающего агента (C01B33/03)

C Химия; металлургия(4052)

C01 Неорганическая химия (обработка порошков неорганических соединений для производства керамики C04B35; бродильные или ферментативные способы синтеза элементов или неорганических соединений, кроме диоксида углерода, C12P3; получение соединений металлов из смесей, например из руд, в качестве промежуточных соединений в металлургическом процессе при получении свободных металлов C21B,C22B; производство неметаллических элементов или неорганических соединений электролитическими способами или электрофорезом C25B) (282)

C01B Неметаллические элементы; их соединения(199)

C01B33 Кремний; его соединения (C01B21,C01B23 имеют преимущество; персиликаты C01B15/14; карбиды C01B31/36) (25)

C01B33/03 Разложением галогенидов кремния или галогенсиланов или восстановлением их водородом в качестве единственного восстанавливающего агента(13)

Технологический комплекс для получения монокристаллического кремния // 128874

Система низкотемпературной конденсации парогазовой смеси // 126617

Установка для разделения и подготовки хлористого водорода и хлорсиланов технологической линии производства поликристаллического кремния // 126325

Держатель прутков-подложек установки для осаждения поликристаллического кремния // 125200

Устройство для получения поликристаллического кремния // 115361

Изобретение относится к производству поликристаллического кремния (ПК) и касается устройства для конверсии тетрахлорида кремния в ПК и его вывода из реакционной зоны с целью получения фотогальванических преобразователей энергии.

Реактор для получения стержней поликристаллического кремния // 107519

Изобретение относится к устройствам, специально предназначенным для выращивания стержней поликристаллического кремния, а именно для выращивания поликристаллического кремния, преимущественно путем осаждения из газовой фазы на подогреваемые стержневые подложки стержни-основы (затравки).

Реактор для получения стержней поликристаллического кремния // 106894

Изобретение относится к устройствам, специально предназначенным для выращивания стержней поликристаллического кремния, а именно для выращивания стержней поликристаллического кремния, преимущественно путем осаждения из газовой фазы на подогреваемые стержневые подложки (основы).

Реактор для выращивания стержней поликристаллического кремния // 106893

Устройство для получения кремния // 85466

Изобретение относится к химической промышленности. .

Устройство для конверсии тетрахлорида кремния и напыления поликристалилического кремния // 85155

Устройство для интенсификации массопереноса // 83244

Устройство для напыления поликристаллического кремния // 79882

Установка для получения тетрафторида кремния из раствора кремнефтористоводородной кислоты // 71975

Изобретение относится к области получения поликристаллического кремния. .

2549192.