Реактор для получения стержней поликристаллического кремния

Изобретение относится к устройствам, специально предназначенным для выращивания стержней поликристаллического кремния, а именно для выращивания поликристаллического кремния, преимущественно путем осаждения из газовой фазы на подогреваемые стержневые подложки стержни-основы (затравки). Реактор для получения стержней поликристаллического кремния содержит неподвижное основание 1 (рис.1) и цилиндрический колпак 2, разделенные горизонтальным разъемом, в котором через неподвижное основание 1 в сквозные отверстия 3 установлены электроды 4, герметичных по отношению к внешней среде, для подвода электрической мощности от источника силового электропитания (на рис. не показан). Прижимной элемент электрода 4 выполнен в виде фланцевого соединения 5 скрепляемого крепежными элементами.

Изобретение относится к устройствам, специально предназначенным для выращивания стержней поликристаллического кремния, а именно для выращивания поликристаллического кремния, преимущественно путем осаждения из газовой фазы на подогреваемые стержневые подложки стержни-основы (затравки).

Известны реакторы для получения стержней поликристаллического кремния, содержащие неподвижное основание и цилиндрический колпак, разделенные горизонтальным разъемом, в которых через неподвижные основания, в сквозные отверстия установлены электроды, герметичные по отношению к внешней среде, для подвода электрической мощности от источника силового электропитания (на рис. не показан), (Патент С01 В33/035, МПК С01Е Р2161241, 2010-03-10; Патент С01В 33/035, МПК С01 CN 101613103, 2009-12-30).

В данных реакторах, электрод в сквозное отверстие основания устанавливается со стороны реакционного объема, а фиксация электрода осуществляется при помощи накидной гайки одеваемой на корпус электрода с внешней стороны неподвижного основания поверх пружинной шайбы. Отвинчивание накидной гайки в такой ситуации затруднено, т.к пространство вокруг электрода ограничено смежными электродами, а доступ к накидной гайке с применением специального ключа (например трубчатого) невозможен, ввиду наличия каналов подвода (входа и выхода) охлаждающей среды, являющихся неотъемлемой частью электрода.

Наиболее близким аналогом является реактор для получения стержней поликристаллического кремния, содержащий неподвижное основание и цилиндрический колпак, разделенные горизонтальным разъемом, в котором через неподвижное основание в сквозные отверстия установлены электроды, герметичные по отношению к внешней среде, для подвода электрической мощности от источника силового электропитания (на рис.не показан), (Патент WO 2010083899, МПК С01В 33/035, 2010-07-29).

В данном реакторе, электрод в сквозное отверстие неподвижного основания устанавливается со стороны реакционного объема, а фиксация электрода осуществляется при помощи накидной гайки, одеваемой на корпус электрода с внешней стороны реактора. Завинчивание накидной гайки выполняется посредством «граней» под ключ, расположенных на цилиндрической поверхности накидной гайки и в ситуациях, когда необходимо провести демонтаж электрода (например, заменить изолятор), является трудновыполнимой задачей. Для отвинчивания накидной гайки в такой ситуации подходит только рожковый ключ с соответствующим зевом, и ввиду ограничения места смежными электродами и установленными каналами охлаждающей среды, являющихся неотъемлемой частью электрода, его применение затруднено, а демонтажу электрода со стороны реакционного объема препятствуют каналы охлаждающей среды.

Техническим результатом, на достижение которого направлено предлагаемое изобретение, является повышение эксплуатационных характеристик, а именно обеспечение более простого и удобного способа крепления электрода.

Технический результат достигается за счет того, что в реакторе для получения стержней поликристаллического кремния, содержащий неподвижное основание и цилиндрический колпак, разделенные горизонтальным разъемом, через неподвижное основание в сквозные отверстия установлены электроды, герметичные по отношению к внешней среде, для подвода электрической мощности от источника силового электропитания, вместо накидной гайки в качестве прижимного элемента установлено фланцевое соединение, а каналы охлаждающей среды выполнены в виде резьбовых отверстий на корпусе электрода.

Установка фланцевого соединения в качестве прижимного элемента электрода позволяет вынести крепление электрода за пределы его корпуса, при этом обеспечивается более свободный доступ и появляется возможность применения различных типов ключей, а выполнение каналов охлаждающей среды в виде резьбовых отверстий не препятствует их демонтажу со стороны реакционного объема.

При креплении электрода со стороны реакционного объема прижимным элементом выполненного в виде фланцевого соединения, один из фланцев установлен на выступающей части сквозного отверстия неподвижного основания, с возможностью перемещения, отделенный от основания изолятором.

При креплении электрода со стороны внешней среды прижимным элементом выполненного в виде фланцевого соединения, один из фланцев установлен на корпусе электрода, а другой фланец установлен на выступающей части сквозного отверстия неподвижного основания.

Описание предлагаемого реактора иллюстрируется чертежами: на рис.1 общий вид реактора в сечении, на рис.2 - вид А на рис.1 - прижимной элемент, где один из фланцев установлен на выступающей части сквозного отверстия, с возможностью перемещения, отделенный от основания изолятором, на рис.3 - вид А на рис.1 - прижимной элемент, где один из фланцев установлен на корпусе электрода, а другой фланец установлен на выступающей части сквозного отверстия.

Реактор для получения стержней поликристаллического кремния, содержит неподвижный поддон 1 и цилиндрический колпак 2, разделенные горизонтальным разъемом, в котором через неподвижное основание 1 в сквозные отверстия 3 установлены электроды 4 для подвода электрической мощности от источника силового электропитания, герметичные по отношению к внешней среде, а прижимной элемент электрода выполнен в виде фланцевого соединения 5 (на рис.2 и 3 показан пунктирной линией) скрепляемого крепежными элементами.

При креплении электрода 4 со стороны реакционного объема, прижимной элемент может быть выполнен в виде фланцевого соединения, где один из фланцев 7 установлен на выступающей части сквозного отверстия 3 неподвижного основания 1 с возможностью перемещения, отделенный от основания изолятором 8 (рис.2).

При креплении электрода 4 со стороны внешней среды, прижимной элемент может быть выполнен в виде фланцевого соединения, где один из фланцев 9 установлен на корпусе электрода 4, а другой фланец 10 установлен на выступающей части сквозного отверстия 3 (рис.3).

Реактор для получения стержней поликристаллического кремния работает следующим образом. Через сквозные отверстия 3 неподвижного основания 1 устанавливаются электроды 4 с герметизацией по отношению к внешней среде, для подвода электрической мощности от источника силового электропитания (на рис. не показан). Электрод 4 крепится прижимным элементом выполненного в виде фланцевого соединения 5 скрепляемого крепежными элементами. На неподвижное основание 1 устанавливается цилиндрический колпак 2 и производится запуск реактора.

1. Реактор для получения стержней поликристаллического кремния, содержащий неподвижное основание и цилиндрический колпак, разделенные горизонтальным разъемом, в котором через неподвижное основание в сквозные отверстия установлены электроды для подвода электрической мощности от источника силового электропитания, герметичные по отношению к внешней среде, отличающийся тем, что прижимной элемент электрода выполнен в виде фланцевого соединения.

2. Реактор по п.1, отличающийся тем, что один из фланцев установлен на выступающей части неподвижного основания с возможностью перемещения, отделенный от основания изолятором.

3. Реактор по п.1, отличающийся тем, что один из фланцев установлен на корпусе электрода, а другой фланец установлен на выступающей части неподвижного основания.