Пакет дисков турбомолекулярного насоса

Ой C

ЙЗОБРЕТЕИИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. саид-sy (22) Заявлено 050178- {21) 2568617/25-06 (51}м. кл.

F 04 D 19/94 с присоединен Ием заявки Мо

Государственный комитет.СССР по дыам изобретений и от крытий (23) Приоритет

Опубликоввно1 50280. Бизллетеиь Hо 6

РЗ) УДК 621. 527.8

{088. 8) Дата опубликования описания 1502.80 (72) Авторы изобретения

В.С.Кондрашев И Л.И.Деев-Анисимов (71) Заявитель

{ 54) ПАКЕТ ДИСКОВ 2УРВОМОЗТЕКУЛЯРНОГО ÑÎÑÀ

1 : . 2

Изобретение относится к вакуумной ные 2 диски с лопатками 3 и 4. Лопаттехнике. ки 4 роторных дисков 2 имеют радиусы

Известен пакет дисков, и котором корневого R и периферийного R се- . статорный диск имеет отбортовку по чений, превйшающих соответственйо внутреннему диаметру, образующую с радиусы периферийного R и корневого поверхностью ротора зазор (1) . Одна- R сечений лопаток 3 статорных дисков ко поток газа, проходя через этот 1, а соотйетствующая разность укаэайзазор, сокращает компрессию газа в . ных радиусов имеет величину, увеличи -. статорной ступейи, Известен такжЕ вающУюсЯ В НапРавлении откачки. пакет дисков турбомолекулярногО на- 0; при работе насоса МолекулЫ гаэа, . соса, содержащий статорные и ротор, прошедшие через кольцевой радиальный ные диски с лопатками (21. Однако ": зазор" роторного 2 или статорного 1 в насосе с таким пакетом не достига - диска со" сторбйй выхода на вход стуется достаточная степень сжатия. " " пени, чтобы попасть в межлопаточные

Целью изобретения является увели- 15 каналы следующего в направлении к чение производительности насоса ПУ- . входу пакета диска, должны преодо» тем повышения степени сжатия. Это . леть канал аксиального зазора между достигается тем, что в предлагаемом ; дисками в радиальном направлении от

:. пакете лопатки роторных дисков ймеют" окружности периферийного радиуса ло- . радиусы корневого и периферийного 20 патки первого диска до окружности сечений, превышающие соответственно корйевого радиуса лопатки левого дисрадиусы периферийного и корневого ка. На этом участке пути молекулы сечений лопаток статорных дисков, а имеют йекоторую. в ероятность попадасоответствующая разность указаннйх ния в межлопаточный канал правого радиусов имеет величину, увеличиваю- 25 диска и прохода на выходную сторону щуюся в направлении откачки. этого диска . Вероятность этого тем

На чертеже показан описываемый выше, чем больше отношение разности пакет, продольный разрез, периферийного .и корневого рациусов

Пакет дисков турбомолекулярного соседних статорных и роторных диснасоса содержит статорныЕ 1 и ротор- 30:ков к величине аксиального зазора

71 5821

Cîàòавитель о, Тишина

Редактор А. Пейсоченко Техред Н.Ковалева Корректор В. Синицкая

° Ю»

° «« ° » 1 ° » »

Заказ 9488/31 . - Тираж 725 Подписйое

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

«» М °

Филиал ППП Патент, r.Óæãîpîä, ул,Проектная,4 между нимй и чем больше отношение .ширины межлопаточного паза к толщине лопатки в торцовой плоскости дискаo

Для увеличения компрессии ra88 разность: . радиусов корнева< и пернферййньй. сеченйй лопаток соседних роторных и статорных дисков увеличива- . ется s направлении откачки.

16 Формула йзобретения

Пакет дисков турбомолекулярного

- насоса, содержащйй статорные и роторные дискй с лопатками, о т л и ч""а юшийся тем, что, с целью увеличення производительности путем повыаения степени сжатия, лопатки роторных дисков имеют радиусы корневого и периферийного сечений, превышающие соот» ветственно радиусы периферийного и корневого сечений лопаток статорных дисков, а соответствующая разность указанных радиусов имеет велйчину, увеличивающуюся в направлении откач-, кие

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Ав торское" свидетельство СССР

9 24 377 0 кл. Р 04 0 l9/04 1969, 2. Королев G.È. Основы вакуумной техники. M. Энергия, 1975, с.119" .122,