Молекулярный насос вертикального типа

О П И С А Н И El ii)630455

Союз Советских

Социалистических

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 27.07.76 (21) 2388799 25-06 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.10.78. Бюллетень ¹ 40 (51) Л1. «л,з

F 049 19/04

Государственный комитет (53) УДК 621.527,8 (088.8) по делам изобретений и открытий (45) Дата опубликования описания 19.09.78 (72) Автор изобретения

Б. A. Осанов (71) Заявитель (54) МОЛЕКУЛЯРНЫЙ HACOC ВЕРТИКАЛЬНОГО ТИПА

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Известны молекулярные насосы, содержащие корпус с установленным в нем ротором (1).

Работа этих насосов основана на увлечении молекул газа поверхностью, движущейся относительно другой с большой скоростью и находящейся от нее на малом расстоянии. Наиболее существенным недостат- 10 ком молекулярных насосов указанных типов является малая скорость откачки.

Известен также молекулярный насос вертикального типа, содержащий корпус, в выходном патрубке которого расположен ис- 15 точник десорбирующего излучения, и установленный в корпусе колоколообразный ротор, наружная поверхность которого покрыта сорбирующим материалом (2).

В известном насосе имеет место малый 2р зазор между ротором и статором, что требует точного изготовления всех деталей насоса и их сборки. Кроме того, при десорбции молекул газа с поверхности ротора происходит загрязнение ими откачиваемого 25 объема.

Целью изобретения является повышение скорости откачки путем исключения загрязнения откачиваемого объема.

Это достигается тем, что в выходном па- 30 трубке между источником и ротором размещено герметичное устройство в виде сильфона, один конец которого жестко закреплен на стенке патрубка, а другой снабжен кольцом из антифрикционного материала, на прилегающей к ротору поверхности которого выполнен капиллярный паз.

Кроме того, для ускорения процесса десорбции в полости ротора установлен источник теплового излучения рсгулирусмой мощности.

На фиг. 1 изображен описываемый насос; на фиг. 2 — разрез А — А на фиг. 1.

Молекулярный насос содержит корпус 1, в выходном патрубке 2 которого расположен источник 3 десорбирующего излучения, и установленный в корпусе 1 колоколообразный ротор 4, наружная поверхность которого покрыта сорбирующим материалом

5. В выходном патрубке 2 между источником 3 и ротором 4 размещено герметичное устройство в виде сильфона 6, один конец которого жестко закреплен на стенке патрубка 2, а другой снабжен кольцом 7 из антифрикционного материала, на прилегающей к ротору 4 поверхности которого выполнен капиллярный паз 8.

В полости ротора 4 установлен источник

9 теплового излучения регулируемой мощности.

630455

Из откачиваемого объема молекулы газа поступают в насос и адсорбируются там на охлажденных поверхностях ротора 4. При вращении ротора 4 молекулы, адсорбированные на цилиндрических поверхностях, 5 проходят через узкие пазы 8 в кольце 7 в выходной патрубок 2 в виде монослоя, где под воздействием десор бирующих излучений происходит их десорбция. Десорбированные молекулы в виде газа откачиваются 10 насосами предварительной откачки (на чертеже не показан). Незначительная часть десорбированных газов проникает через паз 8 между ротором 4 и кольцом 7 обратно в насос, где молекулы вновь адсор- 15 бируются сорбирующим материалом ротора 4.

В связи с тем, что устройство герметизации насоса обеспечивает сохранение минимального размера зазора между ротором и 20 статором, обратное перетекание десорбированного газа уменьшено на два порядка, а следовательно, во столько же раз возрастает скорость откачки.

Ф ор мула изо бр етения

1, Молекулярный насос вертикального типа, содержащий корпус, в выходном патрубке которого расположен источник десорбирующего излучения, и установленный в корпусе колоколообразный ротор, наружная поверхность которого покрыта сорбирующим материалом, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости откачки путем исключения загрязнения откачиваемого объема, в выходном патрубке между источником и ротором размещено герметичное устройство в виде сильфона, один конец которого жестко закреплен на стенке патрубка, а другой снабжен кольцом из антифрикционного материала, на прилегающей к ротору поверхности которого выполнен капиллярный паз.

2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что,с целью ускорения процесса десорбции, в полости ротора установлен источник теплового излучения регулируемой мощности.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Пипко А. И. Конструирование и расчет вакуумных систем. М., «Энергия», 1970, с. 162.

2, Авторское свидетельство СССР № 556704, кл. F 04d 19/04, 1965.

630455

Редактор Н. Богатова

Подписное

Заказ 1813/19 Тираж 799

НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, iК-35, Ратшская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Составитель О. Тишина

Техред С. Антипенко ql

Корректор О. Данишева