Способ регулирования производительности турбомолекулярного вакуумного насоса
11 11 688708
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИ Я
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 01.04.77 (21) 2467865/25-06 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.09.79. Бюллетень № 36 (45) Дата опубликования описания 30.09.75 (51) М. Кл.-"
Г 040 19/04
Государственный комитет (53) УДК 621.527.8 (088.8) по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения
В. Н. Кеменов и Л. Б. Леонов (71) Заявитель (54) СПОСОБ РЕГУЛИРОВАНИЯ ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТИ
ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО ВАКУУМНОГО НАСОСА
Формула изобретения
Изобретение относится к области вакуумной техники.
Известен способ регулирования производительности турбомолекулярного вакуумного насоса путем изменения скорости вращения пакетов роторных дисков (11.
При известном способе не обеспечивается регулирование производительности в зоне высоких давлений на входе насоса.
Целью изобретения является расширение диапазона регулирования.
Цель достигается тем, что изменение скорости вращения осуществляют путем независимого и последовательного уменьшения, начиная с высоковакуумной стороны, скорости вращения отдельных пакетов при высоком входном давлении, а при уменьшении последнего увеличивают скорость вращения пакетов до номинального значения в обратной последовательности.
1-1а чертеже изображен турбомолекулярный вакуумный насос, реализующий описы в асмы и способ.
Насос содержит корпус 1 с расположенными в нем роторными пакетами 2 — 4.
При запуске насоса по мере понижения давления в откачивасмой емкости последовательно увеличивают скорость врашсн1гя пакетов, начиная с форвакуумпой стороны. При увеличении потока откачиваемого газа давление на входе в насос повышается, и происходит последовательное уменьшение скорости вращения роторных пакетов, начиная с высоковакуумной стороны. При определенном потоке откачивасмого газа B зависимости от величины дав;IeI»III на входе в насос работают все или только часть пакетов роторны.; дискоз.
Огкл1очснис высоковакуумных пакетов ро1ОрHblx дисков позволяет pезl .О сократ!ITb силы трения и предохранить двигатель насоса от перегрева, при этом диапазон рабочих давлений насоса расширяется в сто15 рону высоких давлсни:"ь
Осуществление способа позволяет без привлечения доllолнительнblx затрат на установку дополнительных насосов обеспечить эффективную откачку различ Iblx газов в широком диапазоне рабо»Ix давлеIIIIII.
Способ регулирования производительности турбомолскулярного вакуумного насоса путем изменения скорости вращенич пакетов ротopIIblx дисков, о тл и ч а ю щи и с я тем, что, с целью расширения диапазона регулирования, изменение скорости вращс688708
Составитель И. Бикбулатов
Текред Н. Строганова
Корректоры: Л. Брахиииа и А. Степаиова
Редактор И. Грузова
Заказ 2359/12 Изд. № 560 Тираж 780 Подписиое
НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва Я-35, Раушская иаб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 нйя осуществляют путем независимого и последовательного уменьшения, начиная с высоковакуумной стороны, скорости вращения отдельных пакетов при высоком входном давлении, а при уменьшении последнего увеличивают скорость вращения пакетов до номинального значения в обратной последовательности.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Вакуумная техника. Справочные материалы. М., «Реклама», 1975, с. 28.
