Травитель для выявления нарушения кристаллической структуры полированной поверхности кремния
Союз Советских
Социалистимеских
Республик
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свил-ву(») 534835 (22) Заявлено 23,09,74(21) 2062589/25 (51) М. Кл,т
Н 02 Li 21/465 с присоелииением заявки №вЂ” (23) Приоритет(43) Опубликовано05.11.76.Бюллетень № 41
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений н открытий (53) УДК 621.382 (088.8 ) (45) Дата опубликования описания 24,02,77 (72) Авторы изобретения 0. А. Кулагин, Н. В. Румак, В. П. Сергеев, и А. Г. Черных (71) Заявитель (54) ТРАВИТЕЛЬ ПЛЯ ВЫЯВЛЕНИЯ НАРУШЕНИЙ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ
СТРУКТУРЫ ПОЛИРОВАННОЙ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ
Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов и ин тегральных схем и может быть использовано для экспрессного контроля качества под готовки поверхности кремниевых пластин с ориентацией (100) после финишной химико-механической полировки, Известен травитель для выявления фигур (ямок) кристаллической структуры полированной поверхности кремния на основе водных щ растворов гидроокиси калия или натрия fl) „
Травление проводят при температуре 70о
100 С, Недостатком травитепя является его
Плохая селективность.
Наиболее близким техническим решением 1б к предложенному является травитель для вы явления нарушений кристаллической структуры полированной поверхности кремния íà основе 1-30%ного раствора гидроокиси калий или натрия в воде (2). 20
Травитель используют главным образом для оценки дислокационной структуры монокристаллического кремния по фигурам травления и для химической полировки кремниевых пластин с ориентацией (3 1. 25
Недостатком травителя являются высокие скорости травления, что приводит к одновременному травлению всей поверхности кремни евых пластин и не позволяет выявлять дефекты предшествовавшей стадийной механической обработки, а также нарушений кристаллической структуры поверхности кремниевой пластины, ориентированной параллельно плос кости (100), при внедрении акцепторных и донорных примесей в кремний, Целью изобретения является повышение избирательности к нарушениям кристаллической структуры поверхности кремниевой пластины, ориентированной параллельно плоскости (100).
Поставленная цель достигается тем, что в травитель дополнительно вводят хлористый аммоний при следующем соотношении компо-. нентов (r/ë):
КОН 10 - 300 и И 50 - 160
Добавление хлористого аммония в трави тель снижает скорость травления, что позволяет определять дефекты поверхности при изготовлении кремниевых подложек.
534835
Составитель В, Мякиненков
Редактор Т. Орловская Техред. А. Богдан Корректор д Лак„да
Заказ 5517/254 Тираж 963 Под»»с»ое
Ш1ИИИИ Государсгвенного комитете Совета М»пиетров СССР по делам изобретений и открытий
11303 ">, Москва, Ж/35, Раушская»ао„д„ I/5
4 »«»!«Ф» I31«!! !Ь!т» »т, !. Ужгороду ул«! Ipoi.êïèø, 4
Травитель можно использовать для экс пресо-контроля качества кремниевых. плао тин после финишной химико-механической,полировки с целью их разбраковки., Ь
Формула изобретения
Травитель для выявления нарушений крид-,И таллической структуры полированной поверх ности кремния, содержащий раствор гидроокиси калия в воде, отличающийся тем, что,,с целью повышения избира, гельности к нарушениям кристаллической структуры поверхности кремниевой вщстинц, ориентированной параллельно. плоско .ти (10ф)„ в него дополнительно введен хлористый аммоний JIp» следуюшем соотношении компоненм гов (г/л):
КОН 3Q 3QQ ы 5Q g6Q
Источники информации, приийтые во внимание при експертизе, 1. 8, С, Коваленко "Металлографические растворы", изд-во Металлургии, 1973, стр, 26.;
2, С, М. Файнштейн Обработка поверх рости полупроводниковых приборов из-во
"Энергия", 1966, стр, 71,-, прототип),
