Раствор для избирательного травления пленок хрома

О П Й C А Й Й Е 397993

ИЗОБРЕ7ЕИ ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСИОМУ СЗКЯИЕЯЬСТВУ

Зависимое от авт. сВН Iåòå1bñòB2 ¹â€”

Заявлено 31.Xll.1971 (№ 1732261/26-25) с присоединением заявки ¹â€”

Приоритет—

Опубликовано 17.1Х.1973. Бюллетень ¹ 37

М. Кл. Н Oll 7/50

С 23! 1/00

Гасударственный комитет

Саввтв Министров СССР по делам изобретений и открытий

УД К 621.382.002 (088.8) Дата опубликования описания 20.XII.1973

Авторы изобретения

О. А. Колмаков, Г. М. Белевич, Б. Е. Раснецова, Г. Я. Колмакова и Ш. Л. Кегелес

Заявитель

РАСТВОР ДЛЯ ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ТРАВЛЕНИЯ

ПЛЕНОК ХРОМА

Соляная кислота (плотность 1,18 — 1,19 г/с.11 ), зь!

ДвухлориcToc олово, г

И" одид ка1ия, г

10 — 150

50 — 150

Предлагаемый раствор относится к веществам, используемым при изготовлении, например, хромовых прецизионных фотошаблонов.

Для изготовления х1ромовых шаблонов 5!з пленки Вакуумнапыленного хрома на диэлектрической подло кке, например стекле, испо ibзуют раствор соляной кислоты,,который тра,вит:поверхность хрома после ее предварител!— ного контакта (активации) со стержнем из цинка или с алюминиевой стружкой.

Известны также растворы для избирательного травления пленок хрома на основе соляной кислоты, содержащие различные добавки, например, увеличиваюшие воспроизводимость процесса.

Однако извсспные pacTBopbl не могут быть использованы бсз предварительного активировалия поверхности хрома путем контактирозания се с активирующим металлом.

Цель изобретения — повышение равномерности травления.

ДЛ51 достижения этОЙ Цели р2 сТВор содер5KHт восстанови !ель, например двухлористое олово и ионы йода, например, в виде йодид: щелочного одновалентвтого металла. Компоненты раствора взяты в следующем количестве:

Травитель готовят следующим образом. В концентрированной соляной кислоте растворя1от 50 — 150 г Йодида щелочного металла (напримep, калия), выдери.иВают не менee суток

1О и фильтруют. В раствор добавляют 10 — 150 г хлористо"0 олова и фильтруioT.

Порядок операц1!й технологи !еского процесса lip!i получении микрорельефа хромовых

I! . 1 е н 0 к i I 2 c T c к л с с л с i 0 щ11 и:

15 На песе:1ис фоторезиста с Образованием КОпировального слоя, сушка KQIIHpoB2лъного ,с.1oÿ, экспонирозание копировального слоя, !

po5IB IpHHp, тер.;!и!pcK251 ООработка

ГО рисунка, хпмll !еское тpaB1eHHe незащищен2О ных i i12 TKQB хроз!ОВОЙ пленки, промывка il сушка, удалсн5ис ;оторезистора.

П iacT;111у с хромовой пленкой, на которую

i!2 IGcpH 22щптныЙ pHc) HoK, погружа!От B p2cIBop для травления и выдерживают в нем до

25 полного стравливания хромовой пленки с незащищенных фоторезистом участков.

В качестве фоторезпста !испо1ьзу!От

ФП вЂ” ЗЗЗВ.

Ниже да :Iы сост2вы растВороВ для траВлсЗО иия хромозой пленки:

Предмет изобретения

Сосгавитель В, Лиходед

Техред T. Курилко

Корректор А. Дзесова

Редактор Н. Вирко

Заказ ¹ 893 И ад. ¹ 1 Тираж 780 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-85, Раупгскан наб., д. 4/5

Типография ¹ 24 Со.озполпграфпрохга, Москва, 121019, ул. Маркса — Энгельса, 14 № 1 1хнсло;à nî IHHBB 36 — 40%, лл 1000

Иодистый натрий, г 100

Двухлористое олово, г 40

Время полного стравливания хромовой пленки толщиной 0,12 лкл составляет 1 мин 20 сек, толщиной 0,3 лкл — 4 лин 20 сек.

М 2 Кислота соляная (36 — 40%), ля 1000

Иодистый калий, г 100

Двухлористое олово, г 30

Время полного стравлива ния хромовой пленки толщиной 0,12 лкл составляет 2 лин

20 сек, толщиной 0.30 лкл — 4 мин 50 сек. № 3 Кислота соляная (36 — "-0%), ля 1000

Иодистый аммони11, г 00

Двухлористое Олово, " 100

Время полного стравляли за!н41я .Оомовой

ПЛСНКИ тгОЛщниой 0,1? Л.Л .СОС-аВЛяЕт О Лия

55 сек, толщиной 0,30 мкл — 12 лин 40 сек. № 4 Кислота соляная 36 — 10%, мя 1000

Иоднстый калий, г 100

Двухлористос олово, г. 50

ВпеГмя полного стравливания хромовой пленки толщи ной О,!2 мкм — 1 мин 35 сек, толщиной 0,30 мкл — 3 лин 40 сек. № 5 Кислота соляная 36 — 40, лл 1000

Насыщенный раствор йода металлического в спирте, лл 100

Двухлористое олово, г 50

Время полного стравли вания хромовой пленки толщиной 0,12 мкл — 1 мин 25 сек; толщиной 0,30 лкм — 2 лин 50 сек.

П ри содержании йгудида менее 100 г/.г ск..рость травлеяия не уменьшается, но создастся

5 пресыщение раствора.

При содержании хлористого олова менее

10 г/л, такнсе как и выше 100 г/л, caîðoñòn травления уменьшается. Наибольшая скоро ть травления хрома обеспечивасгся травите..;

10 содержащи м 50 г/л двухлористого олова.

Раствор № 5 годен к работе почти сразу же после приготовлен ия, однако он быстро теряет свои травящие свойства.

1. Раствор для избирательного травления пленок хрома на основе соляной кислоты, оТ20 личагощийся тем, что, с целью по вышения равномерности травления, он содержит восстановитель, например двухлористое олово, и HclHbI йода, на пример, в виде йодида щелочного м..тa,ëë а.

25 2. Раствор по п. 1, отличагощийся тем, чтО компоненты взяты в следующем количество: соляная кислота (плотность 1,18 — 1,19 г/смз 1

1000 мл, двухлористое олово 10 — 150 г, йозднд калия 50--150 г.