Обработка химическими или электрическими способами, например электролитическое травление (H01L21/465)

H01 Основные элементы электрического оборудования(4684)

H01L21/465 Обработка химическими или электрическими способами, например электролитическое травление (для формования диэлектрического слоя H01L21/469)(1)

Установка нанесения пассивирующего диэлектрика // 55507

2548627.