Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором
Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором, содержащий ортофосфорную и азотную кислоты, отличающийся тем, что, с целью улучшения свойств легированной пленки, в его состав введен этиленгликоль в качестве основного растворителя при следующем соотношении компонентов, об.%: Ортофосфорная кислота (уд. вес 1,68 г/см3) - 1 10-4 - 10 Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см3) - 1 10-2 - 5 10-1 Этиленгликоль - Остальное
Похожие патенты:
Полирующий раствор для антимонида индия // 521620
Состав для удаления фоторезистов // 439035
Травитель для полупроводников // 385353
Способ получения контактных выводов // 384160
Виблио:>&?н/-. // 370682
Травитель // 369651
Изобретение относится к микроэлектронике, а именно технологии изготовления ИС высокой степени интеграции на биполярных транзисторах, изготовленных по самосовмещенной технологии (ССТ) с двумя слоями поликремния
Изобретение относится к технологии жидкостной химической очистки поверхности изделий, преимущественно полупроводниковых пластин, и может быть использовано в электронной промышленности
Устройство для шлюзования // 2133521
Изобретение относится к электронной технике, а именно к процессам электрохимической обработки полупроводниковых пластин, в частности к операциям электрополировки и утонения пластин, формирования анодных окисных пленок и слоев пористого кремния (формирование пористого кремния включает в себя несколько одновременно протекающих процессов - электрохимического травления и полирования, а также анодного окисления)
Способ просушивания кремния // 2141700
Изобретение относится к способу просушивания с соблюдением чистоты поверхностей таких материалов, как полупроводники, керамика, металлы, стекло, пластмассы и, в частности, кремниевые пластины и лазерные диски, у которых подложка погружена в жидкую ванну, а поверхности просушиваются по мере отделения от жидкости, например, путем продувки газа над поверхностью жидкости, причем газ может растворяться в жидкости и снижает поверхностное натяжение жидкости