Грабитель для выявления дислокаций в кремнии

ОП ИСАНИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ц 436409

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 13.06,72 (21) 1795958126-25 (51) М. К.. Н 011 7(00 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 15.07.74. Бюллетень ¹ 26

Государственный комитет

Совета Министров СССР па делам изобретений ч открытий (53) УДК 621.382(088.8) Дата опубликования описания 13,12.74 (72) Авторы изобретения

Я. А, Угай, И. В. Кириченко, К. P. Курбанов и А. М. Черников (71) Заявитель (54) ТРАВИТЕЛЬ ДЛЯ ВЫЯВЛЕНИЯ ДИСЛОКАЦИЙ

В КРЕМНИИ

40 — 45

49,5 — 40

Изобретение относится,к техничке контроля качества монокристаллического крем н ия, Для выявления дислокаций .в кремнии известны следующие TpBBHTBJIи: травитель Дэша: 1 ч. HF+3 ч. НХОа+ 8 — 12 ч. СНеСООН; хромовый правитель: 1 ч, CrO +1 ч. НЕ+1 ч.

НеО; ртутный тра витель: 3 ч. HF+5 ч.

HNO.+3 ч. СНЗСООН+2 ч. 3%-ного

Нд (NOÄ) Ä

Осно вными недоставками тра вителя Дэша являются очень малые clKopolcTH,растворения (! — 16 час) и неполное выя влен ие дисло каций. Хромовый и ртутный травители имеют высокие скорости травления, но плохую выявляемость ди слокаций.

Цель изобретения — увеличение скорости растворения и,повышение чувствительности,к ди,сло кациям.

Это достигается тем, что в качестве акислительного компонента предлагаемого правителя введен насыщенный раствор двухромовокислого калия в серной кислоте.

Ком поненты могут 1быть взяты в,следующем соотношении, вес. %:

Калий,двухромовокислый 4, 5 — 5

Серная кислота (95—

96%-ная) 6 — 10

Пла ви ковая кислота (49—

50% -ная)

Вода дистиллированная

П р им е р 1. 3 г КеСгеОт при,комна гной температуре растворяют в 28 мл дистиллированной воды и добавляют 2 мл концентрированной,серной кислоты, затем добавляют 20 мл плавиковой кислоты (49 — 50%-ной). Нагревают до 35 С и в течение 5 мин с перемешиванием травят на дислокации. ,Пример 2. 3,5 г К Cr 07 при комнатной температуре растворяют в 35 мл воды и доN бавляют 4 мл концентрированной серной кислоты, затем добавляют 30 мл плавиковой кислоты (49 — 50%-ной). Нагревают до 30 — 35 С и в течение 3 — 5 мин с перемешиванием травят на дислокации.

15 Насыщенный, раствор, соли двужромовой кислоты в ceipiHoH кислоте, являясь более сильным окислителем, усиливает гальванический эффект растворения кремния в местах выхода дислокаций на поверхность, что позволяет вы20 являть .все дислокации, пересекающие поверхность кремния. 1IJIBBHKolBBH кислота является ком илексообр азователем, который переводит кремний в раствор. Вода регули|рует скорость растворения, что бывает важно для исследо25 ваний кремния в тонких слоях, где скорость распворения должна быть минимальная, а выявление дислокаций полным.

Предлагаемый тра витель позволяет выявлять дислокации, выходящие под любым углом

30 к поверхности, давая очень четкие ямки трав436409

Составитель Ю. Слепнев

Техред Т. Курилко

Корректоры; М. Коробова и О. Данишева

Редактор И. Шубина

Заказ 3304/10 Изд. № 1827 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 ления. По полноте выявления он превосходит все известные травители. Это дает возможность более точного о пределения плотности дислока ций на,разли ча|ых стадиях полу1проводникового производства.

Предмет изобретения

1. правитель для выявления дислокаций |в кремнии, включающий водный раствор окислителя и комп лексообразавателя, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повьвшения чувствительности к дислокациям, в состав травителя в качестве окислителя аве ден насыщенный раствор двухромовокислого калия в серной ки слоте, 2. Травитель по п. 1, отл и ча ю щийся тем, что ком поненты взяты в следующем со. отношении,;вес. /о ..

Ка лий двухромовокислый 4,5 — 5

Серная кис.чота (95—

96 о/о -ная) 6 — 10 Пла ви ковая кислота (49—

50о/о-ная) 40 — 45

Вода дистиллированная 40 — 49,5