Обработка химическими или электрическими способами, например электролитическое травление (H01L21/306)

H01 Основные элементы электрического оборудования(4684)

H01L21/306 Обработка химическими или электрическими способами, например электролитическое травление (для образования диэлектрических пленок H01L21/31; последующая обработка диэлектрических пленок H01L21/3105)(5)

Устройство для плазмохимической обработки // 126510

Устройство двустороннего травления печатных плат // 96697

Установка для обработки полупроводниковых пластин // 63122

Установка для плазменного травления полупроводниковых пластин и/или образования на них диэлектрических пленок // 63121

Установка нанесения пассивирующего диэлектрика // 55507

2548494.