Абразивная суспензия
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
<п1 456822
Союз Советских
Социалистических
Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 25.12.70 (21) 1612774/25-8 с присоединением заявки № (32) Приоритет
Опубликовано 15.01.75. Бюллетень № 2
Дата опубликования описания 20.02.75 (51) М. Кл. С 09g 1/02
Государственный комитет
Совета Министров СССР оо делам изобретений и открытий (53) УДК 621.922.02 (088.8) (72) Авторы изобретения
В. С. Бутяев и Ю. М. Колчин
SENT@ файф g. : р@н (71) Заявитель (54) АБРАЗИВНАЯ СУСПЕНЗИЯ
Изобретение относится к области обработки полупроводниковых материалов абразивом.
Известна абразивная суспензия для полировки полупроводниковых материалов, включающая алмазный порошок и охлаждающую жидкость.
Для повышения производительности и качества полировки предлагаемая суспензия составлена на основе этилового спирта, а соотношение ее компонентов выбрано из условия
0,2 — 0,4 r алмазного порошка на 1 л этилового спирта.
Процесс полировки ведется с постоянной подпиткой по следующей технологии.
На полировальник из искусственной замши, предварительно обильно смоченный спиртом, наносится алмазный порошок или алмазная паста, которые втираются в полировальник в течение 3 — 5 мин.
В мешалку станка засыпается алмазный порошок той же зернистости и заливается этиловый спирт. После установки на влажный полировальник шлифовально-полировальных головок с накленными на них пластинами включается мешалка, привод станка и осуществляется подача алмазной суспензии из мешалки на полировальник.
10 Предмет изобретения
Абразивная суспензия для полировки полупроводниковых материалов, включающая алмазный порошок и охлаждающую жидкость, отл ич а юща я ся тем, что, с целью повышения производительности и качества полировки, суспензия составлена на основе этилового спирта, а соотношение ее компонентов выбрано из условия: 0,2 — 0,4 г алмазного порошка на 1 л этилового спирта.
