Абразивная суспензия
Использование: для высокоэнергетических лазерных систем. Сущность изобретения: абразивная суспензия для полирования полупроводниковых материалов содержит кислый фторид натрия, алмазный микропорошок и воду дистиллированную при их следующем соотношении, в мас. %: кислый фторид натрия 1-5, алмазный микропорошок 1-3, вода дистиллированная - остальное. Изобретение позволяет повысить качество оптической поверхности. 1 табл., 2 ил.
Изобретение относится к области оптического приборостроения и может быть использовано при изготовлении охлаждаемых и неохлаждаемых зеркал из поликристаллического кремния для высокоэнергетических лазерных систем, в том числе космического базирования.
Наиболее близкой по технической сущности к предлагаемому изобретению является абразивная суспензия для полупроводниковых материалов, содержащая алмазный порошок и этиловый спирт. Этот состав может быть использован для оптической обработки зеркал из поликристаллического кремния со следующими параметрами поверхности: шероховатость RZ, мкм 0,05 класс чистоты P VII среднеквадратичное отклонение![](https://img.poleznayamodel.ru/chr/963.gif)
вода дистиллированная остальное. Именно данное вещество в заявляемой суспензии при соответствующих концентрациях придает ей новое неизвестное ранее свойство: кислый фторид натрия образует комплексы типа Men[SiF6] которые, создавая защитную пленку на полируемой поверхности, препятствуют окислению и, как результат улучшение качества оптической поверхности зеркал из поликристаллического кремния, возможность получения оптических элементов с требуемыми характеристиками. Сопоставимый анализ с прототипом позволяет сделать вывод, что заявляемая суспензия отличается тем, что она дополнительно содержит кислый фторид натрия. Кислый фторид натрия в абразивной суспензии для получения высококачественной оптической поверхности на зеркалах из полупроводниковых материалах применен впервые. Конкретные примеры приготовления суспензий для полирования зеркал из поликристаллического кремния. Берут навеску кислого фторида натрия и растворяют в дистиллированной воде. К полученному раствору добавляют микропорошок алмазов и тщательно перемешивают при комнатной температуре до образования однородной суспензии. Рецептуры для приготовления 100 г суспензии для полирования зеркал из поликристаллического кремния приведены в таблице. Сравнительные испытания предлагаемой суспензии и суспензии, выбранной за прототип, проводились на зеркалах из поликристаллического кремния диаметром 100 мм. Качество исходной поверхности составляло:
шероховатость lZ, мкм 0,1
класс чистоты Р VII
среднеквадратичное отклонение,
s, мкм 2. Оптическая обработка производилась на станке марки ЗПД-320. Время обработки детали 5 ч. После окончания обработки детали промывали и проводили контроль качества оптической поверхности. Класс чистоты оценивался визуально с помощью лупы х6. Класс шероховатости определялся на профилографе - профилометре модель Тейлисерф 6 фирмы РЭНК Тейлор, Англия. Среднеквадратичное отклонение рассчитывалось по интерферограммам, полученных на приборе ИТ-100. Результаты измерений представлены в таблице. Зеркала из поликристаллического кремния отличаются от известных меньшим весом, высокой временной стабильностью оптической поверхности, малыми значениями коэффициента термических деформаций, устойчивостью оптической поверхности к тепловым нагрузкам. Однако поликристаллический кремний существенно отличается от монокристаллического, что сказывается на процессе оптического формообразования высокоточных поверхностей. Результаты испытаний таблицы показывают следующее. 1. Только заявляемая совокупность компонентов суспензии обеспечивает улучшение по сравнению с прототипом качества полируемой оптической поверхности. 2. Заявляемая суспензия позволяет повысить шероховатость и чистоту обрабатываемой поверхности на 1-2 класса. 3. Оптимальной концентрацией кислого фтористого натрия в полировальной суспензии является концентрация 1-5 мас. При содержании в полировальной суспензии кислого фторида натрия менее 1% и более 5% положительный эффект не обнаруживается. 4. Заявляемая суспензия может быть рекомендована для оптической обработки зеркал из поликристаллического кремния.
Формула изобретения
Алмазный микропорошок 1 3
Вода дистиллированная Остальноеп
РИСУНКИ
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3
Похожие патенты:
Изобретение относится к металлургии, а именно к технологии полупроводниковых материалов
Способ обработки монокристаллов йодата лития // 2090666
Изобретение относится к полупроводниковой электронике и может быть использовано в микроэлектронике и оптоэлектронике для записи и считывания информации
Способ изменения окраски минералов // 2076910
Изобретение относится к облагораживанию минералов, в частности бесцветных разновидностей полупрозрачного благородного серпентинита, а также улучшению цвета серпентинита с бледной серо-зеленой окраской
Изобретение относится к области получения полупроводниковых материалов и может быть использовано для получения кремния в форме пластин бестигельным методом
Изобретение относится к металлургии, а именно к технологии полупроводниковых материалов
Способ выращивания монокристаллов кремния // 2077615
Изобретение относится к выращиванию монокристаллов кремния по методу Чохральского с однородным распределением кислорода по всей длине кристалла при обеспечении его бездислокационной структуры, что позволяет использовать эти кристаллы в производстве интегральных схем с высоким уровнем интеграции
Способ выращивания монокристаллов кремния // 2076909
Изобретение относится к производству кремния для стабилитронов и подложек для эпитаксии
Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых материалов и может быть использовано при выращивании монокристаллов кремния по методу Чохральского
Изобретение относится к металлургии полупроводникового кремния и может быть использовано при получении легированных монокристаллов кремния методом индукционной бестигельной зонной плавки
Способ получения монокристаллов кремния // 2042749
Изобретение относится к полупроводниковой металлургии
Способ получения мультикристаллов кремния // 2026895
Изобретение относится к полупроводниковой технологии и может найти применение в промышленности при изготовлении ряда дискретных полупроводниковых приборов (например, тензодатчиков, полевых транзисторов, переключателей, датчиков малых перемещений и других приборов)
Изобретение относится к области получения полупроводникового материала
Изобретение относится к бытовой химии, а именно к средствам для чистки и удаления загрязнений с поверхности посуды, фаянсовых раковин, кафельных плиток и др