Устройство для нанесения многослойных покрытий в вакууме

Оп ИСАНИЕ 0Ц„„„

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистииеских

Республик

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства-27929 (22) Заявлено02.10.72 (21)1832326/26-9 (51) М. Кл.С 23с

13/00 с. присоединением заявки—

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изооретений н открытий (32) ПриоритетОпубликовано05.11.74Бюллетень № 41

Дата опубликования описания Й <2./4 (53) УДК539,231 (0/8.8 ); (72) Авторы

""бр" ""я И.И.ВОСКОВОйНИКОВ, Р. А ГАВРИЛОВ и Г.В.ЛАГУтКИН (71) Заявитель (54) ЯстРойство для нАнесения многослойных по. кРытий В ВАкууме

1 .Ф

Изобретение относится к технологии производства радиоэлектронной аппаратуры

;и запоминаюших устройств вычислительных т машин, в частности к конструированию оборудования для изготовления тонкопленочных микросхем и магнитных матриц:.

Известно устройство для нанесения многослойных покрытий в вакууме по авт.св. ; ¹ 279291.

Бель изобретения — повышение надежно- т0 ( сти и повышение качества и воспроизводимости покрытий - достигается тем, что предлагаемое устройство снабжено механизм мом съема подложек в виде каретки, установленной на стенке дополнительной ваку- 15 умной .камеры с возможностью;поступате- льного перемещения по вертикали, и съемника в виде Г-образного рычага, одно пле-; чо которого взаимодействует с кареткой, а другое — с приводным механизмом. 20

На фиг.1,.изображено предлагаемое уст- ( ройство спереди, и сверху на фиг. 2— ,разрез по месту стыковки рабочей и транс4

:портной камер; на фиг.3 - механизм съе-, 1 (: ма подложек. I 25 и

Устройство состоит из транспортных 1, рабочих 2 и шлюзовых камер загрузки.3 и выгрузки 4. К рабочим камерам подсоединено различное технологическое оборудование: испарители 5, нагреватели 6, охладитель 7. Для напыления магнитных матриц служат электромагнитные кольца 8, в магнитное поле магнитные материалы на; пыляются и стабилизируются. Все камеры установлены:, на каркасе 9, внутри которо

: го смонтированы, вакуумная система, пнев мосистема, система охлаждения и подводка электропитания.

В транспортной камере расположены ме .ханизм 10 транспортировки подложки 11, эксцентрик 12 привода съемника 13 и

Г-образный рычаг 14. Перед отверстием, соединяющим транспортную камеру с рабо, чей, расположен шлюзовой затвор 15. В рабочей камере расположена каретка съем ника 16, опирающаяся на Г-образный рычаг,, 14.

Устройство работает следуюшим образом, I

Механизмы транспортировки 10 йереме-". шают кассету с подложкой ll в рабочую камеру, зксцентрик 12 привода съемника поворачивается, и Г-образный рычаг 1 4 поднимает каретку 16 с подложкой.

Транспортирующий механизм ьозьращается в исходное положение, и в рабочей камере включается технологическое оборудование для проведения какого-либо процесса.

В случае нарушения вакуумной плотности, например ввода привода съемника

13, шлюзовой затвор 15, перекрывая отверстие между транспортной и рабочей камерами, обеспечивает сохранение рабочего вакуума в рабочей камере.

ГПЧ ДМЕ Г ИЗОЫ И Нп Я

Устройство для нанесения многослойных покрытий в вакууме но аьт. сь. К

279291,отличаюше ся что, с целью повышения надежно«!kl и повышения качества и воспроизводимости покрытий, оно снабжено механизмом «ъ .— ма подложек ь виде каретки, установиi iiной ца стенке дополнительной ьакуумнол

gp камеры с возможностью поступательного перемегцения по вертикали и съемнлка ь виде Г-образного рычага, одно плечо коTорогo взаимодействует с кареткой, другое — с приводным механизмом.

Состав пель Н. 6/10НКФП

Редактор g yegOa1O5 Техред с gempu a Корректор Ц. ф,Q(-iЙДО1ci декад ф изд. N 8ft тираж 87а

Подписное

Ц11ИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР о делам изобретений и открытий

Москва, 113035, Раушская наб., 4

Предприятие «Патент», Москва, Г-59, Бережковская наб., 24