Способ силицирования тугоплавких материалов

Авторы патента:

МАТВЕЕВ АЛЕКСЕЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ

ШМАЛЬЦ ВИКТОР ЛЬВОВИЧ

ПУТИЛОВ ВЛАДИМИР ТИМОФЕЕВИЧ

СТРЕЛКОВ ВЛАДИМИР КОНСТАНТИНОВИЧ

АНИСИМОВ ЮРИЙ ПАВЛОВИЧ

ВЕРНО НИКОЛАЙ ВАСИЛЬЕВИЧ

C23C9/04 - Покрытие металлических материалов; покрытие других материалов металлическим материалом (металлизация текстильных изделий D06M 11/83; декоративная обработка текстильных изделий местной металлизацией D06Q 1/04); химическая обработка поверхности; диффузионная обработка металлического материала; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще (для специфических целей см. соответствующие классы, например для производства резисторов H01C 17/06); способы предотвращения коррозии металлического материала, образования накипи или корок вообще (обработка металлических поверхностей или покрытие металлов электролитическим способом или способом электрофореза C25D,C25F)

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сеаз Сююетакнн

Сецнакнетнческнв

Раекубкнк (11) ФФ9ИФ (61) Зависимое от авт. свидетельствавЂ” (22) Заявлено%. 05. 72 (21)Г784589/22-4 (51) М. Кл.

С 230 9/04

Гасударственный номитет

Совете Министров СИР но делам изооретеннй н открытий с присоединением заявки вЂ”. (32) ПриоритетвЂ”

Опубликовано 05,Ы,74 Бюллетень Ке 4а.

Дата опубликования описания g5 g2 74 (53) УДК 621.793

° 6(088.8) (72) Авторы изобретения

А.А.Матвеев, В,Л.Шмальц, В.Т.Путилов, В.К.Стрелков, Ю,П.Анйсимов и Н.В.Верно (71) Заявитель (54) СПОСОБ СИЛИЦИРОВАЯИЯ ТУГОПЛАВБ1Х МАТЕРИАПОВ

2б !

Изобретение относится к химикотермической обработке, в частности к получению защитного диаилицидного покрытия на тугоплавких металлах.

Известен способ силицировавЂ” ния тугоплавких материалов, осувЂ” ществляемый путем термического разложения порошкообразного нитрида кремния при температуре ?900С и выше в среде азота.

В результате зложейия образуется жидкии крв

Для получения дисилицидного покрытия на тугоплавких металлах, а также сокращения процесса и его воспроизводимости по предложенному способу термическое разложение порошка нитрида кремния проводят при температурах <700-I800"С,при которых не образуется жидкой фавн кремния, разрушающего диффузионный слой.

Способ заключается в слвдую- щеми

Обрабатываемое изделие засыпают порошком нитрида кремния и б нагревают в высокотемпературной печи при 1700-I8000C в среде азота. Часть кремния, полученного в нроцессе разложенйя, диффундивЂ” рует в покрываемый металл, а друlo гая часть, нв вступившая в реакцию с металлом, соединяется с азотом, вновь образуя порошок нитрида кремния, чем обеспечивается воспроиэводимость технологического

1б процесса.

Высокая температура процесса обеспечивает большую скорость диффузии кремния и покрываемый металл, о что сокращает продолжительность технологического цикла обработки.

Например, дисилицидное покрытие толщиной 50-400 мк на молибдене получают за 2-6 час. Иэделия с на1

Составитель Ц„;ЩцЕрНОВа

Редактор О филиппоЯ хред Н Сенина корректоры: Н, Беля вс „"ф

Тираж М

Заказ gQ

Изд. М 7®

П оР. . к си 1е

ППГПП1И Государственного комитета Совета Мииистров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 113035, Раушскак иаб., 4

Предприятие «Патеит», Москва, Г.59, Бережковская ис6., -I8c8HHHM HB них дисилицидным слоем работают в окислительной среде при температуре порядка 18ОО"С.

ПРЕДМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Способ силицирования тугоплавких материалов, состоящий в термическом разложейии подошкообразного

4 тищщ а кремния в среде азота, о т л и ч а ю щ и Й с я тем,что, с целью получения дисилицидных покрытий на тугоплавких металлах, улучшения Воспроизводимости и сокращения времени процесса, термическое разложение нитрида кммния пговодят пои температуре Х70О-Х800Ч, .