Способ измерения сопротивления электрического контакта металл-полупроводник

(!!) 443339

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сок!з Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 31.01.72 (21) 1745540/26-25 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 15.09.74. Бюллетень № 34

Дата опубликования описания 22.01.76 (51) М. Кл. G OIr 31/26

Гасударственный комитет

Совета атииистров СССР (53) УДК 621.317.799.621. .382.2 (088.8) ао дела!и изобретеиий и открытий (72) Авторы изобретения

В. И. Овчаренко и В. E. Севостьянов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ СОП РОТИВЛ ЕНИЯ

ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО КОНТАКТА МЕТАЛЛ вЂ” ПОЛУПРОВОДНИК

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано для разработки и оперативного контроля технологии металлиза ции, причиненного анализа и отбраковки потенциальноненадежных полевых 5 транзисторов.

Известен двухзондовый способ определения сопротивления электрического контакта металл — полупроводник, 10

Точность такого способа низка, так как объемное сопротивление полупроводника обычно на один — два порядка больше или соизмеримо с контактными сопротивлениями и включено с ними последовательно. Для поле- 15 вых транзисторов при использовании этого способа дополнительную погрешность обуславливает сопротивление канала, которое также включено последовательно этим сопротивлениям, 20

Для повышения точности измерений по предлагаемому способу смещают истоковый р — ипереход в прямом направлении, а стоковый переход — в обратном направлении, изменяют ток стока, компенсируют уменьшение тока че- 25 рез истоковый переход изменением напряжения на нем и определяют сопротивление контакта по отношению приращения напряжения на истоковом переходе к изменению тока через сток. 30

На чертеже приведено схематическое изображение р-канального полевого транзистора с р — и-управляющим переходом и схема измерения контактного сопротивления по описываемому способу.

Для измерения контактных сопротивлений в и-канальных транзисторах полярность источников должна быть противоположной. На приведенном чертеже верхний затвор и+ конструктивно соединен с нижним затвором и, а контактные сопротивления к стоке R c и истоке Rsc вынесены из ст!руктуры, Сущность предлагаемого способа заключается в следующем. При подаче на сток постоянного напряжения Va и на затвор постоянного напряжения 1 о,, имеющего р — n-переход в прямом направлении (переключатель В в положении 1), в цепи стока протекает ток

1о,, а в цепи затвора — ток 1о,.

Ток затвора устанавливается так, что вы,полняется условие 1р, »1а,. Напряжение на стоке выбирается так, чтобы верхний и нижний р — и-переходы были смещены почти по всей длине и прямой ток затвора протекал через нижний р — и-переход преимущественно под контактом истока.

Направление преимущественното протекания тока затвора .показано на чертеже стрелкой с обозначением 1с.

443339

Предмет изобретения

Отсюда

Rsc = AUa Ala

Составитель Т. Дозоров

Редактор И. Шубина Техред Т. Миронова Корректор А. Дзесова

Заказ 199/9 Изд. Ко 1804 Тираж 902 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комите-,а Совета Министров СССР по делам. изобпетеиий и открытий

Москва, Я-35, Раушская наб., д. 4!5

Типография, пр. Сапунова, 2

Таким образом, через контакт истока протекают ток стока и ток затвора, создавая на нем падение напряжения.

Usc, = — (lo, + la,) Rsc.

Увеличив напряжение на стоке (переключатель В в положении 2), устанавливают новое значение тока стока Io,. Возрастание тока стока приводит к возрастанию падения напряжения на контакте, которое смещает р — ипереход в обратную сторону и уменьшает ток р — п- перехода, Чтобы установить прежнее значение тока р — и-перехода (затвора), необходимо сместить р — n-переход в прямом направлении на такую величину ЛРо, которая скомпенсирует прирост падения напряжения на контакте за счет возрастания тока стока.

Это означает, что

ЬЬо — (Ь, — Iz,) Rsc.

Для измерения контактного сопротивления стока выводы стока и истока меняются местами.

Новые свойства предлагаемого способа позволяют использовать его для разработки и оперативного контроля технологического процесса, в частности, контроля операций металлизации полевых транзисторов, а также для причинного анализа брака, в частности, по шумам, току входа, температурному дрейфу.

Предложенный способ прост в осуществлении и пригоден для работы в условиях производства.

Способ измерения сопротивления электрического контакта металл-полупроводник, основанный на,пропускании электрического тока через контакт и регистрации приращения напряжения на нем при приращении тока, о тличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений, смещают истоковый р — и-переход в прямом направлении, а стоковый переход —.в обратном направлении, изменяют ток стока, компенсируют уменьшение тока через истоковый переход изменением напряжения на нем .и определяют сопротивление контакта по отношению приращения напряжения на истоковом переходе к изменению тока через сток.