Способ поперечной резки полупроводниковыхслитков
:l ã, J "%
ОПИСАН ИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ (») 4345I9
Союз Советскм
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависи мое от а вт. свидетельства (22) Заявлено 16.02.73 (21) 1883854/26-25 с присоединением заявки № (32) Приоритет
Опубликовано 30.06.74. Бюллетень № 24
Дата опубликования описания 12.11.74 (51) М. Кл. Н Oll 7/68
Государственный комитет
Совета Министров СССР оо делам изобретений и открытий (53) УДК 621.382(088.8) (72) Авторы изобретения
А. А. Иванов, Г. Ф. Скрипко и Ю. И. Шушпан (71) Заявитель
Ордена Трудового Красного Знамени институт сверхтвердых материалов АН Украинской ССР (54) СПОСОБ ПОПЕРЕЧНОЙ РЕЗКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ
СЛИТКОВ
Известен способ резки полупроводниковых слитков, когда одновременно с радиальной подачей слитка на вращающийся инструмент происходит вращение слитка вокруг продольной оси; при этом резка начинается на периферии и заканчивается в центре слитка.
В результате такой резки в центре отрезаемой пластины остаются следы сколов и выступы, устранение которых увеличивает трудоемкость последующих операций, а также умень- 10 шает выход годной продукции.
Цель изобретения — увеличение выхода годной продукции на последующих операциях шлифования и раскроя пластин, улучшение ка- тб чества поверхности отрезаемых пластин наряду с увеличением диапазона диаметров разрезаемых слитков.
Цель достигается тем, что подача слитка на инструмент осуществляется в два этапа: сна- 20 чала осуществляется радиальная подача, которая прекращается после пересечения режущей кромкой продольной оси слитка, а затем слиток поворачивают вокруг своей продольной оси до окончания резки. 25
Предлагаемый способ резки поясняется схемой, показанной на чертеже.
Резка осуществляется следующим образом.
На абразивный отрезной круг 1 с внутренней режущей кромкой, приводимый во вращение, подают в радиальном направлении разрезаемый слиток 2. При осуществлении радиальной подачи слиток занимает положение, когда продольная ось О, слитка расположена относительно оси 02 круга 1 на расстоянии, большем радиуса R режущей кромки на величину б. Beëè÷ïíó б устанавливают экспериментально. При достижении такого расположсния слитка относительно отрезного крута радиальную подачу прекращают п дальнейшую резку осуществляют за счет поворота слитка 2 вокруг его продольной оси Оь
Предмет изобретения
Способ поперечной резки полупроводниковых слитков абразивным отрезным кругом, включающий вращение инструмента, радиальную подачу слитка на инструмент, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью увеличения выхода годных пластин и повышения качества поверхности, радиальную подачу слитка на инструмент прекращают после пересечения режущей кромкой инструмента продольной оси слитка, а затем осуществляют подачу слитка на инструмент путем поворота слитка вокруг продольной оси.
434519
Составитель О. Бочкин
Техред Н. Куклина
Корректор М, Лейзерман
Редактор И. Орлова
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 3019/15 Изд. Мю 1789 Тираж 760 Подписно»
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
