Устройство для загрузки в кассету кристаллов полупроводниковых приборов

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 1 42I073

Союз Советских

Социалистичесюа

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 17.03 72 (21) 1759365126-25 с присоединением заявки (32) Приоритет

Опубликовано 25.03.74. Бюллетень ¹ 11

Дата опубликоваш1я описания 27.08.74 (51) М. К,1. Н 011 7/68

Государственный комитет

Совета Министров СССР пе делам изобретений и открытий (531 УДК 621. 28(081,8) (72) Авторы изобретения

М. M. Золотаревский, В. И. Мартынов и А. В. Рябнчев (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАГРУЗКИ В КАССЕТУ КРИСТАЛЛОВ

ПОЛУПРОВОДНИКОВЬ1Х ПРИБО1-Og

Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов.

Известно устройство для загрузки в кассету кристаллов полупроводниковых приборов, содержащее электромагнитный вибропривод, форвакуумный насос и съемный вибролоток с гнездами и отверстиями, расположенными в канавках вибролотка, через которые осуществляется вакуумный присос кристаллов, заполняющих гнезда. Однако при этом низкая производительность труда объясняется большим количеством вспомогательных операций: съемный вибролоток, расположенный над кассетой, необходимо снять с установочных штифтов после засыпки кристаллов и заполнения ими гнезд; установить на кронштейны; повернуть на 180 для ссыпания лишних деталей в желоб; вновь установить па виоростоле деталями вниз. После заполнения кассеты вибролоток снимается с установочных штифтов, переворачивается и вновь устанавливается на них для повторения цикла.

Целью изобретения является повышение производительности труда за счет уменьшения количества вспомогательных операций.

Это достигается тем, что вибролоток установлен на оси вращения между двумя симметрично расположенными направляющими с кассетами и выполнен двусторонним, причем вакуумные присосы каждой из рабочих поверхностей лотка выполнены автономными.

На чертеже изображена предлагаемое устройство.

На столе 1 устройства расположены направляющие решетки 2 с отверстиями и приемником для кассет 3. Между решетками»а ос«4 укреплен вибролоток 5, с двух сторон которого имеются канавки с гнездами 6, че10 рез отверстия в которых происходит вакуумный присос кристаллов. К корпусу внбролотка через гибкие штанги 7 и трехпознционный распределитель 8 присоединен форвакуумный насос 9. Кристаллы насыпаются на верхшою

15 сторону вибролотка 5. Вибратор включается, н детали начинают двигаться по поверхности лотка, заполняя гнезда 6. Как только все гнезда заполнятся деталями, распределителем соединяют насос с запо llelllloi поверх20 ностыо лотка. Детали присасываются к гнездам. Да "ee лоток поворачивается вокруг оси, лишние детали ссыпаются,в крнсталлосборннк

10. Лоток устанавливается во в — îðîì рабочем положении. Заполненная поверхность лотка с

25 кристаллами прижимается к направляющей решетке зажимом 11. Насос при нейтральном положении трехпозиционного распределителя отсоединяется от корпуса внбролотка. При этом детали отрываются от гнезд лотка под

30 действием атмосферного давления и, пролетая

421073

Составитель l0. Цветков

Редактор 3. Твердохлебова Техред Л. Богданова Корректор Е. Миронова

Заказ 1987!1О Изд. ¹ 653 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комптста Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4 5

Типография, пр. Сапунова, 2 через сквозные отверстия направляющей решетки 2, попадают в гнезда кассеты 3. Это положение вибролотка является исходным для загрузки его другой стороны.

Предмет изобретен и я

Устройство для загрузки в кассету кристаллов полупроводниковых приборов, содержащее электромагнитный вибропривод, вибролоток с вакуумным присосом, форвакуумный насос, кристаллосборник, направляющие решетки, отличающееся тем, что, с целью повышения производитель ности, вибролоток ус ановлсн на оси вращения между двумя симметрично расположенными направляющими с кассетами и выполнен двусторонним, причем вакуумные присосы каждой из рабочих поверхностей лотка выполнены автономными.

Устройство для загрузки в кассету кристаллов полупроводниковых приборов Устройство для загрузки в кассету кристаллов полупроводниковых приборов 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области электричества, а более конкретно к технологии изготовления биполярных полупроводниковых приборов: диодов, тиристоров, транзисторов

Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов, а более конкретно к методам радиационно-термической обработки диодов, работающих на участке пробоя вольтамперной характеристики, и может быть использовано в производстве кремниевых стабилитронов, лавинных вентилей, ограничителей напряжения и т.п

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при изготовлении интегральных схем, особенно при необходимости минимизации количества операций литографии

Изобретение относится к технике контроля параметров полупроводников и предназначено для локального контроля параметров глубоких центров (уровней)
Изобретение относится к области тонкопленочной технологии и предназначено для использования в микроэлектронике и интегральной оптике
Изобретение относится к области тонкопленочной технологии и предназначено для использования в микроэлектронике и интегральной оптике

Изобретение относится к технологии полупроводников и может быть использовано для получения многослойных эпитаксиальных структур полупроводниковых материалов методом жидкофазной эпитаксии

Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов, в частности к технологии изготовления полупроводниковых структур, используемых для производства диодов, транзисторов, тиристоров, интегральных схем и кремниевых структур с диэлектрической изоляцией
Наверх