Устройство для скрайбирования if полупроводниковых пластин

4I5758

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено 06.04.71 (21) 1645841/26-25 с присоединением заявки №вЂ” (32) Приоритет—

Опубликовано 15.02.74. Бюллетень M 6 (51) М.Кл. Н 011 7/68

Государственный комитет

СЪввта Министров СССР ао делам изобретений и открытий (53) УДК 621.382 (088.8) -

Дата опубликования описания 04.10.74.

В. Б. Тригуб, А. М. Копытин, В. Ф. Шаталов, А. Я. Новак, В. Т. КоМиссаров и В; К. Кучеров!

, (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) УСТРОИСТВО ДЛЯ СКРАЙБИ РОВАН ИЯ

;, ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН1

Изобретение относится к области производства; полупроводниковых приборов и предназначено, в частности, для резки пласти н на кристаллы.

Известен станок для скрайбирования полупроводниковых пластин, с помощью которого резка пластин на кристаллы осуществляется нанесением посредством алмазного резца сетки рисок на поверхности пластины.

Однако известный станок обладает рядом недостатков. Во-первых, он имеет низкую производительность вследствие ограниченной:.скорбсти рабочего хода режущего инструмента.

Увеличение скорости рабочего хода .в известном станке ограничено наличием инерционных сил, .возникающих при возвратно-поступательном движении каретки с резцом. Эти инерционные силы приводят к перегрузкам в узлах трения. Во-вторых,,в известном станке наблюдаются сколы и разрушения на поверхности скрайбированных рисок, что также объясняется ограниченной скоростью резания.

Целью настоящего изобретения является устранение перечисленных недостатков, а именно разработка такого устройства, кото рое позволило бы увелИчить производительность и повысить качество скрайбирования. . Поставленная цель достигается тем, что привод рабочего хода режущего инструмента выполнен в виде механизма пневмовыстрела, 1 а привод холостого хода выполнен в виде цепной передачи с захватами для фиксации крайних положений каретки, причем упомянутая каретка свободно установлена на направляющих и не связана во время рабочего хода с приводом холостого хода.

На фиг. 1 показан общий вид устройства; на фиг. 2 — взаимодействие узлов на кинематической схеме.

1р На станине 1 установлен механизм пневмовыстрела, содержащий пневмоцилиндр 2, пор-. шень 8 с закрепленным на нем толкателем (ударником) 4 и устройство взвода, состоящее из кулачка 5 и тяги б, соединенной с поршнем

1б 8. Кулачок 5 с пневмораспределительным устройством 7 установлен на валу 8 и кинематически связан с механизмом перемещения 9, который имеет столик 10 для закрепления полупроводниковой пластины 11. Каретка 12, сна20 ряженная резцом 18, подпружиненным с помощью пружины 14, перемещается по направляющим 15, которые оснащены демйферным устройством lб. Привод холостого хода состоит из цепной передачи 17 с захватами 18 и киоб нематически связан с механизмом 9 перемещения пластины.

Устройство работает следующим образом.

Обрабатываемая полупроводниковая пластина 11 закрепляется (например, мастикой) зО на столике 10. Поршень 8 посредством тяги

41

6, кулачка 5 и вала 8 выводится в крайнее ле-. вое положение. Привод холостого хода, управляемый .валом 8, выводит каретку 12 с помощью одного из захватов 18 также в левое крайнее положение; при этом захват 18 отжимает резец 18, в результате чего при холостом ходе резец не касается поверхности полупроводниковой пластины 11. При повороте вала 8 на определенный угол пневмораспределительное устройство 7 подает сжатый воздух (давлением порядка 4 — 6 кг/слР) из магистрали в левую полость пневмоцилиндра 2, После достижения необходимого давления в цилиндре 2 поступление сжатого воздуха прекращается, и кулачок 5 освобождает тягу б, в результате чего происходит пневмовыстрел, При этом толкатель 4 ударяет по каретке 12, которая с большой скоростью перемещается по направляющим 15 вправо, и резец 18, поджатый пружиной 14, производит царапание полупроводниковой пластины 11. Скорость каретки 12 после нанесения царапины гасится демпферным устройством 1б. При крайнем правом положении каретки 12 механизм перемещения пластины осуществляет подачу столика 10 с пластиной 11 на заданный шаг, а полость ра5758

4 бочего давления пневмоцилиндра 2 соединяется с атмосферой посредством пневмораспреде:=лительного устройства 7. Затем цикл повторяется.

Таким образом, каретка во время рабочего хода перемещается с большой скоростью и осуществляет скрайбирование пластины. -При этом достигаются высокая производительность и повышение качества скрайбирования.

Предмет изобретенич

Устройство для скрайбирования полупроводниковых пластин, содержащее каретку с

15 закрепленным режущим инструментом, приводы рабочего и холостого хода инструмента, кинематически связанные с механизмом перемещения пластины, отличающееся тем, что, с целью увеличения производительности, привод о рабочего хода режущего инструмента выполнен в виде механизма пневмовыстрела, а привод холостого хода содер>кит цепную передачу с захватами для фиксации крайних положений .каретки, причем каретка, свободно установленpS ная на направляющих, не связана во время рабочего хода с приводом холостого хода.

415758

Составитечь Н. Островская

Техред Т. Ускова

Корректор A. Васильева

Редактор Б. Нанкина

Подписное

Загорская типография

Заказ 3069 Изд, Ко 1301 Тираж 760

ЦНИИПИ Государственного комитета Сов-ra Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5