Патент ссср 418711
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
4l87ll
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства № 188064
Заявлено 20.12.71 (№ 1726901/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
М. Кл. С 01b 9/02
-Государственный комитет
Совета Мииистрсв СССР
w делам изабретеиий и открытий
Опубликовано 0503 74. Бюллетень № 9
УДК 535.411(088.8) Дата опубликования описания 20.08.74
Автор изобретения
H. В. Трофимова
Заявитель
ДВУХЛУЧ ЕВОЙ И НТЕРФЕРОМЕТР
2бп (2 — tg р)
cos
Изобретение относится к устройствам для измерения и программирования малых перемещений.
Известны устройства аналогичного назначения, в которых для определения перемещения по каждой координате используется свой двухлучевой интерферометр.
По основному авт. св. № 188064 известен также интерферометр для измерения малых перемещений объекта в одном направлении, построенный по схеме Майкельсона и содержащий фотоэлектронное устройство для счета интерференционных полос и систему подвижных и неподвижных зеркал.
Целью изобретения является упрощение оптических схем двухкоординатных интерферометров и расширение возможностей определения малых перемещений по двум координатам с помощью одного интерферометра.
Для этого в измерительном плече предложенного интерферометра под некоторым углом к световому лучу устанавливается два параллельных зеркала, одно из которых может перемещаться вместе с объектом измерений не в одном, а в двух направлениях.
Оптическая схема двухлучевого интерферометра для измерений малых перемещений в двух взаимно перпендикулярных направлениях представлена на чертеже.
Интерферометр состоит из источника света 1, осветительной системы, содержащей линзы 2, 3 и диафрагму 4, светоделителя 5, зеркала 6 плеча сравнения, зеркал 7, 8, 9 измерительно5 го плеча, подвижных устройств 10, 11, 12 для перемещения объекта измерений и зеркала 7 в двух взаимно перпендикулярных направлениях, устройства 13 для регистрации интерференционной картины.
10 При одновременном перемещении подвижного зеркала 7 и объекта измерений в двух направлениях сдвиг интерференционной картины пропорционален отношению где L — перемещение объекта в направлении, перпендикулярном плоскости зеркал 7 и 9;
20 m — число отражений светового луча при одном проходе на зеркале 7 или 9; а — угол падения интерферирующего луча на наклонное зеркало 7.
При смещении объекта измерений вдоль «а25 кой-нибудь одной координаты сдвиг интерференционной картины пропорционален приведенному соотношению, в котором перемещение
L необходимо заменить на перемещение t no соответствующей координате, умноженное на
З0 синус или косинус угла падения света а, 418711
Составитель Р. Архипов
Техред Т. Курилко
Корректор Л. Чуркина
Редактор Т. Орловская
Заказ 1771/4 Изд. № 551 Тираж 760 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва,) Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
При установке зеркал 7 и 9 под углом 45 к падающему световому лучу (а = 45 ) сдвиг интерференционной картины при одинаковых перемещениях по любой координате одинаков и пропорционален 2 lm.
Таким образом, возможность перемещения подвижного зеркала в двух взаимно перпендикулярных направлениях позволяет определять (программировать) перемещение объекта в направлении, перпендикулярном плоскости наклонных зеркал, или же измерять смсщение объекта сначала по одной координате, а затем по перпендикулярной.
Предмет изобретения
Даухлучевой интерферометр для измерения малых смещений по авт. св. № 188064, отл ич а ю шийся тем, что, с целью поочередного измерения смещений по двум направлениям, подвижные зеркала интерферометра выполне1О ны с возможностью перемещения в двух взаимно перпендикулярных направлениях.
