Патент ссср 415482
415482
Предлагаемый интерферометр работает следующим образом.
Интерференционная картина образуется па матовой пластине 8 как результат интерференции волновых фронтов, идущих из эталонной и рабочей ветвей. В результате того, что лучи света в рабочей ветви иптерферометра дважды преломляются контролируемой поверхностью и один раз отражаются от нее, происходит утроение погрешностей контролируемой поверхности, если показатель преломления линзы равен 1,5, что повышает чувствительность контроля на предлагаемом интерферометре в полтора раза в отличие от других известных приборов.
Оценка качества производится известными способами по виду интерференционной картины, наблюдаемой с помощью лупы 9. В предлагаемом устройстве интерфереиционная картина образована при участии лучей, отраженных и преломленных вссй контролируемой поверхностью, что обеспечивает высокую точность контроля местных и общей ошибок поверхности.
Предмет изобретения
Интерферометр для контроля качества выпуклых поверхностей линз большого диаметра, 5 содержащий монохром атический источник света и фокусирующее устройство, образующие осветительную ветвь, разделительный кубик с полупрозрачной гипотенузной гранью, эталонное сферическое зеркало, образующее
10 эталонную ветвь, наблюдательную ветвь и рабочую ветвь с компенсатором, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения точности и производительности контроля, используют компенсатор, который совместно с выпук15 лой преломляющей поверхностью линзы преобразует сферический или плоский волновой фронт в волновой фронт, совпадающий с теоретической формой контролируемой поверхности линзы, рабочая ветвь снабжена плоским
20 зеркалом, предназначенным для поворота полученного волнового фронта, а между линзой и этим зеркалом введена иммерсионная жидкость, показатель преломления которой равен показателю преломления материала линзы.
