Патент ссср 413367

Яа.

Батон"

Н-САНИ

Союз Советсннх

Соцналнстннеских

Республик

К АВТОРСКОМУ СВЙДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 29.111.1971 (№ 1639051/25-28) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 30.1.1974. Бюллетень ¹ 4

Дата опубликования описания 27Л .1974

М. Кл. G 01Ь 9/02

G 01b 9/08

Государстоеиный коиитет

Совете Иииистров СССР оо делам изооретений и открытий

УДК 531.717.86.082 (088.8) Автор изобретения

В. Д. Свердличенко

Заявитель

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ КОМПАРАТОР

ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ КОНЦЕВЫХ MEP ДЛИНЫ

Изобретение относится к оптико-электронной размерометрии и может использоваться для проверки концевых мер длины, Известен интерференционный компаратор для измерения концевых мер длины, содержащий монохроматический и ахроматический иптерференционные каналы с фотоэлектрическими преобразователями, расположенными на выходах каналов, цифровой электронный индикатор, подключенный входом к фотоэлектрическим преобразователям монохроматического канала, синхронный детектор, подключенный к выходу фотоэлектрического преобразователя ахроматического канала. Однако у известного компаратора недостаточна надежность индикации нулевой разности хода лучей ахроматического канала.

Цель изобретения — повышение точности и надежности.

Для этого предлагаемый компаратор снабжен расположенным перед фотоэлектрическим преобразователем плоским зеркалом, установленным на шарнирной опоре под острым углом к направлению ахроматического канала, электромеханическим приводом, кинеглатически связанным с плоским зеркалом, коммутатором, связанным с электромеханическим приводом, и детектором, соединенным с выходом фотоэлектрического преобразователя ахроматического канала и через коммутатор— с входом синхронного детектора.

На чертеже представлена функциональная схема предлагаемого компаратора.

Он содержит источник 1 монохроматического света, расщепитель 2, зеркала 3 и 4, подвижную каретку 5, на которой укреплено зеркало 4, расщепитель 6, два фотоэлектрических преобразователя 7 с щелями и связанный с ними цифровой электронньш индикатор 8, источник 9 ахроматического света, расщепитель

10 10 и отражающую пластину 11 с проверяемой мерой 12, установленную на столе 13, с которым жестко связано зеркало 3. Кроме того, компаратор включает зеркало 14 с электромеханическим приводом 15, фотоэлектриче15 ский преобразователь 16, усилитель 17, детектор 18, коммутатор 19, синхронньш детектор

20, входом соединенный с коммутатором, а выходом — с нуль-индикатором 21 и стрелочным указателем 22.

20 Компаратор функционирует следующим образом.

Каретка 5 устанавливается соответственно нулевой разности хода лучей ахроматического канала. Для этого привод 15 возбуждается

25 так, что зеркало 14, колебаясь, обеспечивает попадание в щель фотоэлектрического преобразователя 16 всех экстремумов интерференционной картины ахроматического канала.

Сигнал детектора 20 подается через коммута30 тор 19 с выхода детектора 18 для нуль-индикации. По достижении нуля по указателю 22

413367

Предмет изобретения

;гг

OСоставитель А. Духаиин

Корректор T. Гревцова

Техред Т. Курилко

Редактор Т. Горячева

Заказ 1173/4 Изд, № 1229 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытнй

Москва, 74-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр Сапунова, 2

3 оператор переключает коммутатор 19 на точное наведение, амплитуда колебаний зеркала уменьшается, а сигнал с усилителя 17 подается на вход синхронного детектора 20, минуя детектор 18.

Перемещением каретки 5 оператор добивается нулевых показаний нуль-индикатора 21, совмещая середину черной (белой) зоны с центром колебаний щели.

Интерференционный компаратор для измерения концевых мер длины, содержащий монохроматический и ахроматический интерференционные каналы с фотоэлектрическими преобразователями, расположенными на выходах каналов, цифровой электронный индикатор, подключенный входом к фотоэлектрическим греобразователям монохроматического канала, синхронный детектор, подключеш1ый к выходу фотоэлектрического преобразователя ахроматического канала, о т л и ч а ю щ и йся тем, что, с целью повышения точности и надежности, он снабжен расположенным перед фотоэлектрическим преобразователем плоским зеркалом, установленным на шарнирной опоре под острым углом к направлению ахроматического канала, электромеханическим приводом, кинематически связанным с плоским зеркалом, коммутатором, связанным с электромеханическим приводом, и детектором, соединенным с выходом фотоэлектрического преобразователя ахроматического канала и через коммутатор — с входом синхронного детектора.