Установка для непрерывной обработки изделий в вакууме

Союз Советских

Социалистических

Республик

,Оп ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ к втоискоми свидетельств

I ((,I) Зависимое от авт. свидетельства №вЂ” (51) М. Кл. С 23с 1З, 10

I22) Заявлено 06.V11.1971 (№ 167Я507:22-1) с присоединением заявки ¹â€” (32) Приоритет— (43) Опубликовано 21.Х1.1973. Бюллетень ¹46

Гвсударстввииый комитет

Совета Министров СССР ло делам изаорвтеиий и открытий (50) УДК 621.703.14.00"".

;; (0ЯЯ.Я) (45) Дата опубликования описания (72) Авторы изоор2Tении

3. А. Азбиль и С. В. Леонтьев (71) Заявитель

УСТАНОВКА ДЛЯ НЕПРЕРЫВНОЙ ОБРАБОТКИ

ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ

Изооретение относится к области непрерывной обработки изделий в вакууме и может быть использовано для изготовления деталей в электронике.

Известна установка для непрерьввной обработки изделий в вакууме, содержащая камеру, внутри которой расположены транспортный диск и устройство для технологической обраоотки, входной н выходной шлюзы н механизм подачи изделий во входной шлюз.

Однако известная установка не позволяет обрабатывать одновременно достаточное количество изделий.

Цель изобретения — повышение производительности установки.

Это достигается тем, что на участке диска между торцами шлюзов выполнены радиальные пазы, рабочие плоскости которых совпадают с рабочими плоскостями шлюзов, расположенных на одной оси под углом к горизо.,тальной плоскости диска.

На чертеже представлена конструкция предложенной установки. Установка состоит из вакуумной камеры 1, с которой сообщаются два щелевых шлюза с дифференциальной откачкой: входной шлюз 2 для загрузки предназначенных для обработки изделий в камеру и выходной шлюз 8 для выгрузки. В камере 1 установлен транспортный диск 4. Шлюзы 2 и 8 расположены на одной оси и в одной плоскости под некоторым углом к горизонтальной плоскости диска 4.

В утолщенной части диска 4, .расположенной между торцами входного 2 и выходного 8 шлюзов, выполнены радиальные Т-образные пазы, имеющие по отношению к горизонтальной плоскости диска 4 тот «e угол наклона, что и шлюзы 2 и 8, причем в каждый момент выстоя диска рабочие плоскости очерсдI0 ного паза совпадают с рабочими плоскостями шлюзов, в результате чего образуется одна общая наклонная плоскость для перемещения изделий 6 под действием механизма 7 подачи изделий во входной шлюз 2, установленного с торца входного шлюза 2, вне камеры 1. В камере установлено устройство 8 для технологической обработки. Диск 4 приводится в прерывисто-вращательное движение механизмом 9 поворота.

20 Установка раоотает следующим образом.

Механизм 9 поворота приводит диск 4 в прерывистое вращение так, что с каждым поворотом диска IIа определенный угол, очередной его паз совпадает со щелями шлюзов 2

2,, и 8. Во время выстоя диска механизм 7 заталкивает очередное изделие 6 в щель вход ного ш,тюза 2 на шаг, раэньш его дл ине, После наполнения входного шлюза 2 изделичми 6 механизм 7, подавая очередное изде30 лие 6 33 щель шлюза, одновре. енно заталкц406975

Предмет изобретения

g К/исщ

Составитель 3. Анисимова

Редактор И. Шубина Техред 3. Тараненко Корректор Л. Новожилова

Заказ 1773 Изд. № 1139 Тираж 875 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Загорская типография

3 вает изделие, расположенное перед диском, в Т-образный паз 5. По мере совершения диском 4 одного полного оборота в каждый радиальный паз 5 подаетсч по одной детали, когорые образуют первый ряд деталей, загруженных в диск 4. При совершении следующе.о оборота диском 4, механизм 7, подавая в пазы 5 диска очередные изделия в первый ряд, перемещает находящиеся в этом ряду изделия во второй ряд.

При совершении диском 4 третьего оборота механизм 7, заталкивая очередные детали в щель входного шлюза 2, одновременно перемещает изделия, находящиеся во втором ряду диска 4 в щель выходного шлюза 8, через который изделия сплошным потоком выталкивается из камеры 1.

Установка для непрерывной обработки изделий в вакууме, содержащая камеру, внутри которой расположены транспортный диск и устройство для технологической обработки, входной и выходной шлюзы и механизм подачи изделий во входной н люз, отличающаяся

10 тем, что, с целью повышения производительности, на участке диска между торцами шлюзов выполнены радиальные пазы, рабочие плоскости которых совпадают с рабочими плоскостями шлюзов, расположенных на од15 ной оси под углом к горизонтальной плоскости диска.