Способ получения металлической фольги

Авторы патента:

C23C14/56 - устройства, специально приспособленные для непрерывного процесса покрытия; приспособления для поддержания вакуума, например вакуумные затворы

О П И С А Н И Е 378559

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советски»

Социалистически»

Рвспублк»

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 08.XII.1969 (№ 1382602 22-1) с присоединением заявки №вЂ”

ПриоритетвЂ”

Опубликовано 18.IV 1973. Бюллетень ¹ 19

Дата опубликования описания 16ХП.1973

М. Кл. С 23с 13 02

Комитет по делаю нзооретвний и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.793.14 (088.8) Авторы изобретения

С. И. Гриншпун, А. Г. Зеберин и А. Н. )Кунда

Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий

Заявитель

i т л Я с ° (P "Я 1

СПОСОБ ПОЛУЧЕИИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ФОЛЬГИ

Предмет изобретения

Изобретение относится к опособам получения металлической фольги испарением металлов или опла вов в вакууме.

Известен способ получения металлической фольги на пылением металла в вакууме на внешнюю поверхность вращающейся барабанной подложечки с не п реры вным съемом с нее фольги.

Однако при осуществлении известного опособа в ряде случаев плотность и одно ровность структуры получаемой фольги являются недостаточными. У величение же плотности фольги иитенсифи|кацией потока iaapa энергетически невыгодно из-за роста потерь при осаждении.

Для повышения однородности структуры, плотности фольги и увеличения коэффициента непользования паров, на пыление осуществляют на внутреннюю поверхность подложки.

Металличеоюую фольгу получают напылением металла в вакууме на внутреннюю IIoверхность вращающейся барабан ной .подложки с .неп реры вным съемом фольги с нее.

При осуществлении способа металл, наносится на .внутреннюю поверхность вращающегося барабана, охватывающего иопаритель, причем съем фольги в начале цикла производится при помощи запра вочнопо конца. Способ позволяет получать разнообразный сортамент толщин фольги с плотной однородной структурой. Внутренняя поверхность барабана, являяcb собирательной по отношению к ис5 парителю, допускает потери паров металла только по торцам барабана. Осуществление процесса при малых углах падения атомо в испаряемого вещества на внутреннюю поверхность барабана иоключает наличие промежут10 кев между растущими зародышами кристаллизации. Большее постоянство плотности потока паров и, следовательно, большушая одно род ность структуры фольги, достигается из-за незначительного различия в расстояниях меж1о ду поверхностью иопарения и различными точ ками поверхности конденсации.

2 Способ получения металличеокой фольги путем напыления металла IB вакууме .на поверх ность вращающейся барабанной подложки с непрерьввным съемом с нее фольги, отличающийся тем, что, с целью повышения однородности структуры и плопности фольги, увеличения,коэффициента иепользования паров, :напыление осуществляют на внутреннюю поверхность подложки.

Редактор Л. Лаврова

Составитель Е. Кубасова

Техред Т. Миронова Корректор Л. Царькова

Заказ 342/1085 Изд. № 476 Т|ираж 826 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Тнп. Харьк. фил. пред. «Патент»

Похожие патенты:

Всесоюзная•1-^ // 368350

Устройство для нанесения покрытий в bakvvme // 364689

Иблиотена i // 357276

Устройство для обработки деталей в вакууме // 356829

Установка для нанесения покрытий в вакууме // 347366

Шлюзовое устройство для ввода и вывода изделий // 341877

Патент 338563 // 338563

Шлюзовое устройство для вакуумных установок // 337447

Установка для получения покрытий и деталей // 333225

Вакуумная напылительная установка // 322421

Способ импульсно-периодической ионной и плазменной обработки изделия и устройство для его осуществления // 2113538

Система для обработки полупроводникового изделия (варианты), встроенный геттерный насос и способ обработки полупроводникового изделия // 2125619

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия

Приспособление для использования в установке для нанесения на детали покрытий, приспособление модульного типа, установка для нанесения покрытий на детали и способ нанесения покрытий // 2161075

Установка для нанесения покрытий на ленту // 2167955

Изобретение относится к области нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Способ получения многослойной ленты и устройство для его осуществления // 2180365

Изобретение относится к технологии вакуумно-дуговой обработки металлов, в частности к производству многослойных лент

Способ получения прозрачной электропроводящей пленки на основе оксидов индия и олова // 2181389

Изобретение относится к изготовлению приборов оптоэлектроники и может быть использовано при изготовлении дисплеев, светоизлучающих диодов и затворов полупроводниковых структур типа металл-диэлектрик-полупроводник

Способ получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги и устройство для его осуществления // 2194087

Изобретение относится к области изготовления самонесущих тонких пленок, в частности, к способам и устройствам для получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги, используемых для окон при регистрации низкоэнергетических излучений, и может найти применение в прикладной физике, машиностроении, при обработке металлов и в других отраслях промышленности

Устройство для загрузки и/или выгрузки емкостей // 2198835

Изобретение относится к промышленному транспорту, в частности к устройству для непрерывной загрузки емкостей, например пластиковых бутылок

Установка для нанесения покрытий на широкую ленту // 2203979

Изобретение относится к области нанесения покрытий и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Геттерная система для очистки газовой рабочей атмосферы в процессах физического осаждения из паровой фазы // 2211882

Изобретение относится к геттерной системе для очистки газовой рабочей атмосферы в процессах физического осаждения из паровой фазы