Устройства, специально приспособленные для непрерывного процесса покрытия и приспособления для поддержания вакуума, например вакуумные затворы (C23C14/56)

C Химия; металлургия(4052)

C23 Покрытие металлических материалов; покрытие других материалов металлическим материалом (металлизация текстильных изделий D06M11/83; декоративная обработка текстильных изделий местной металлизацией D06Q1/04); химическая обработка поверхности; диффузионная обработка металлического материала; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще (для специфических целей см. соответствующие классы, например для производства резисторов H01C17/06); способы предотвращения коррозии металлического материала, образования накипи или корок вообще (обработка металлических поверхностей или покрытие металлов электролитическим способом или способом электрофореза C25D,C25F) (499)

C23C14/56 Устройства, специально приспособленные для непрерывного процесса покрытия; приспособления для поддержания вакуума, например вакуумные затворы(13)

Вакуумная технологическая система для осаждения тонкопленочных комбинированных покрытий // 153695

Полезная модель относится к вакуумным технологическим системам для осаждения тонкопленочных комбинированных покрытий, а более конкретно к системам для нанесения алмазо-подобных покрытий (АПП) на элементы германиевой оптики диаметром до 500 мм.