Г

Авторы патента:

C23C14/56 - устройства, специально приспособленные для непрерывного процесса покрытия; приспособления для поддержания вакуума, например вакуумные затворы

ОПИСАНИЕ 389!74

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Реслублик

За висимое от авт. свидетельства №вЂ”

M. Кл. С 23с 13/10

Заявлено 26.1Ч.1971 (№ 1649676/29-33) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 05.VII.197 3. Бюллетень № 29

Дата опубликования описания 02.XI.1973

Государственный комитет

Совета Иинистров СССР оо делам изобретений и открытий

УДК 621.793.14 (088.8) i

Авторы изобретения М. А. Аскаров, С. Д. Тодрия, Г. А. Гугуиашвили и С. С. Шварцман

Заявитель

УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ

Предмет изобретения

Известны установки для нанесения в электрическом,поле, покрытия на .материал путем ,испа|рения .вещества, например металла, в вакууме, содержащие вакуум-камеру, в которой смонтированы испаритель .наносимого вещества и электроды, питаемые током высокого напряжения и создающие электрическое поле.

Материал, на который наносят покрытие, расположен между упомянутыми электродами, что является существенным недостатком установки .при необходимости нанесения покрытия на поверхность не л истового .пластинчатого, а ,рулонного материала. В этом случае механизм для перемотки материала должен быть изолирован от тока высокого напряжен ия .и снабжен устройством для охлаждения его, что усложняет установку.

В предлагаемой установке эти недостатки устранены за счет того, что в вакуум-камере .над электродами смоентирован механизм для перемотки рулонного материала, а испа р итель заземлен.

Установка поясняется чертежом.

В вакуум-камере 1 установки находится механизм 2 для перемотки рулонного материала, на поверхность которого наносят покрытие.

Под этим механизмом расположена сеткаэлектрод 8, а под ним вЂ” испаритель 4, в,который из устройства 5 поступает вещество для испарения и нанесения на материал. Сеткаэлектрод питается током высокого напряжения от источника питания б. Испаритель заземлен и таким обра зом служит вторым электродом, создающим электрическое, поле, которое направляет частицы испаряемого вещества на поверхность рулонного материала.

Установка для нанесения покрытия испарением вещества в вакууме и в электрическом поле, содержащая вакуум-камеру с испарителем и электродами, отличающаяся тем, что, с целью .нанесения покрыпия,на поверхность рулонного материала, в вакуум-камере над электродами смонтирован механизм для .перемотки рулона материала, а испаритель заземлен.

389174

Составитель И. Бриль

Техред Т. Курилко

Корректоры; A. Николаева и Е. Давыдкина

Редактор Г. Кузьмина

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 2932/3 Изд. № 781 Тираж 826 Подписное

ЦНИИПИ 1осударственпого комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Всесоюзная•1-^ // 368350

Устройство для нанесения покрытий в bakvvme // 364689

Иблиотена i // 357276

Устройство для обработки деталей в вакууме // 356829

Установка для нанесения покрытий в вакууме // 347366

Шлюзовое устройство для ввода и вывода изделий // 341877

Патент 338563 // 338563

Шлюзовое устройство для вакуумных установок // 337447

Установка для получения покрытий и деталей // 333225

Способ импульсно-периодической ионной и плазменной обработки изделия и устройство для его осуществления // 2113538

Система для обработки полупроводникового изделия (варианты), встроенный геттерный насос и способ обработки полупроводникового изделия // 2125619

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия

Приспособление для использования в установке для нанесения на детали покрытий, приспособление модульного типа, установка для нанесения покрытий на детали и способ нанесения покрытий // 2161075

Установка для нанесения покрытий на ленту // 2167955

Изобретение относится к области нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Способ получения многослойной ленты и устройство для его осуществления // 2180365

Изобретение относится к технологии вакуумно-дуговой обработки металлов, в частности к производству многослойных лент

Способ получения прозрачной электропроводящей пленки на основе оксидов индия и олова // 2181389

Изобретение относится к изготовлению приборов оптоэлектроники и может быть использовано при изготовлении дисплеев, светоизлучающих диодов и затворов полупроводниковых структур типа металл-диэлектрик-полупроводник

Способ получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги и устройство для его осуществления // 2194087

Изобретение относится к области изготовления самонесущих тонких пленок, в частности, к способам и устройствам для получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги, используемых для окон при регистрации низкоэнергетических излучений, и может найти применение в прикладной физике, машиностроении, при обработке металлов и в других отраслях промышленности

Устройство для загрузки и/или выгрузки емкостей // 2198835

Изобретение относится к промышленному транспорту, в частности к устройству для непрерывной загрузки емкостей, например пластиковых бутылок

Установка для нанесения покрытий на широкую ленту // 2203979

Изобретение относится к области нанесения покрытий и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Геттерная система для очистки газовой рабочей атмосферы в процессах физического осаждения из паровой фазы // 2211882

Изобретение относится к геттерной системе для очистки газовой рабочей атмосферы в процессах физического осаждения из паровой фазы