В птб
Союз Советских
Социалистических
Республик
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕ Н ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства хй-Заявлено 20.Х.1971 (№ 1707114/2Г>-25) с присоединением заявки М
Приоритет—
Опубликовано 05.Х!.1973. hIO;Iлстень № 45
Дата опубликования о 1»ca»III! 21.1Т.1974,Ч. Кл. II Ol/ 7/68
Государственный комитет
Совета Министров СССР на делам изобретений н открытий
УД1(621.382(088.8) Лвторы н ..111б 1р степ и я
В. H. Лифляид, С. T(. Салей и А. Tl. Чехута ! !
Р1У>
f 11. Ф 1сс . А 3%
Заявитель сто оистпо для тРАнспорти1овлиия подлож11<
Недостатком известных устройств является жесткое Оази1>ование подло>кек 0ТНОсНтслыю транспортирующего устройства, перемещающего их от одной позиции к другой, которое обусловлено тем,что сборочные приспособления закреплены неподви>к»о, а подло>кка зажимается н базируется Но боковым граням. Поэтому для достижения необходимой точности автоматического монта>ка кристаллов требуется весьма высокая точность
Габар!!Тных размеров подло>кек, что усложняет технолог!! !сскп!! процссс изготовлении
Изобретение относится к технике производства полупроводниковых приборов и может быть использовано для автоматического монтажа бескорпусных приборов с >кесткимн гнявода ми к подложка м м икросхем.
Известны устройства для транспортирования подложек от одной позиции к другой, применяемые в многопозиционных установках для присоединения полупроводниковых кристаллов к подло>ккам, в которых иа ка>кдой позиции присоединяется один кристалл на опредслен1юе место подло>кки за один рабочий цикл.
Эти устройства для транспортирования выполнены в виде поворотного миогопозиционного стола пли ленточного транспортера, несущего сборочные приспособления. подложек (» некоторых случаях нсобходнман точность вооощс нс может быть достигнут!1!.
Целью изобретсння является Ho»1 IHIC»llc точности базирования подложек. Эта цсль достигается тем, что сборочные прис!юсоблсння свободно установлены на устройстве для транспортирования н прижаты своими базовыми боковыми сторонами к трем эксцентр» кам, два из которых, соединенных между c(I10 бой тягой, контактируют с од!юй боковой сторо1юй сборочного приспособления, à однн— с другой. Эксцентрики каждого coopoч1юго приспособления попеременно соединяются муфтой сцепления с неподв I>K»o закреп;Ic»15 ным механизмом привода сборочных прнснособл сн н й.
Такая конструкция устройства для транспортирования подложек позволяет осуществлять базирование подложек но ко1ггактным площадкам независимо от точ!юстн вынолнсHHs1 базнрующих поверх»осте!! (бок!пнях граней) подложки путем перемещения сборочных приспособлений на одной нз познц»ll.
1 la последующих позициях базирование сохраняется, и этим обеспечивается IO»IIO«1! автоматической сборки.
На фиг. 1 изображено устройство для транспортнроваш1я подложек, внд в плане; на фиг. 2 — узел Л; на 11н!г. 3 — разрез но
30 Б — Б па фнг, 1.
406244
Узел 7 к фД Я
Составитель Н. Островская
Текред Л. Богданова Корректор В. Брыксина
Редактор T. Орловская
К1алояросланс> > r>> го>>окская rrrrrorparI>rr>r Калужс> ого областного упраьлсния издатсльстс, иолиграй>ии и книжной торгоали
:>иказ 667/l5 Изд. ¹ 250 Тира>к 780 Подписное! (НИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Мошсва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5
