Патент ссср 404145

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН Ия

К АВТ()РСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистимеских

Республик

404I45

Зав исимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 16.Xll.1970 (Эй 1604294/26-25) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет—

Опубликовано 26.Х.1973. Бюллетень № 43

Дата опубликования описания 25.1.1974.Ч. Кл. Н 0ll 7/68

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изооретеннй и открытий

УДК, 621.328(088,8) Авторы изобретения В. Л. Новиков, И. Н. Ларионов, С. П. Мирошникова, В. В. Пеллер, Г. В. Сачков и Д. И. Левинзон

Заявитель

УСТРОЙСТВО

ДЛЯ ЭЛЕКТРОТЕРМИЧЕСКОГО СОЕДИНEHИЯ ПЛАСТИН

ИЗ ЭЛЕКТРОПРОВОДНЫХ МАТЕРИАЛОВ

Изобретение относится к электронной технике и, в частности, к оборудованию полупроводникового производства и может использоваться для получения двухслойных полупроводниковых пластин.

Известны устройства для соединения электропроводных тел (например сварочные аппараты).

Однако они не позволяют осуществить соединение полупроводниковых пластин без изменения их электрофизических свойств и геометрической формы.

Целью изобретения является обеспечение равномерного распределения тока по площади контакта соединяемых пластин и снижения в них термических напряжений.

Для этого узел подвода постоянного тока содержит размещенный в раме токораспределитель в виде цилиндрической пружины, ось которой параллельна плоскости пластин, а каждый виток имеет контакт с рамой и с одной из соединяемых пластин.

На чертеже приведена схема конструкции узла подвода постоянного тока к соединяемым пластинам.

На верхней поверхности узла находится диэлектрическая прокладка 1, на которой установлены токопроводящие направляющие соединяемые через электроды 3 с источником постоянного тока, На токопроводящих направляющих 2 укреплены рамы 4, в которь.с вставлена цилиндрическая пружина б и диэлектрическая прокладка б. Каждый виток пружины имеет контакт с рамой 4 и с нижней из соединяемых пластин 7, в то время как с нижней стороны соединяемая пластина изолирована от рамы диэлектрической прокладкой б.

Устройство обеспечивает равномерное распределение электрического тока по поперечному сечению соединяемых пластин и, компенсируя термическое расширение и сжатие пластины, снижает в них температурные напряжения.

Навеску 8 легкоплавкого металла помещают на нижней пластине 7 у торца верхней пластины 9 так, чтобы не получилось контакта навески 8 с пружиной б.

Устройство работает следующим образом.

Пластины 7 и 9 с пружинными зажимами помещают на токопроводящие направляющие 2. загружают навеску 8 легкоплавкого металла.

Камеру герметизируют и в ней создают рабочую среду, например атмосферу водорода или вакуум. Включают систему охлаждения и производят нагрев соединяемых пластин. При достижении заданной температуры через пластины пропускают постоянный ток, в результате чего навеска 8 легкоплавкого металла входит в зазор между соединяемыми пласти30 нами, перемещается в нем и выходит с протиПредмет изобретения

Составитель Ю. Цветков

Техред Т. Миронова Корректор В. Жолудева

Редактор А. Зиньковский

Заказ 1048 Изд. № 190 Тираж 780 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, )K-35, Раушская наб., д. 4/5.

Типография № 24 Союзполиграфпрома, Москва, 121019, ул. Маркса — Энгельса, 14 воположной стороны, оставляя за собой рекристаллизованный слой из материала пластин, чем и обеспечивается их соединение.

Устройство для электротермического соединения пластин из электропроводных материалов, состоящее из рабочей камеры с системой охлаждения, узла подвода переменного тока к нагревателю соединяемых пластин, системы обеспечения рабочей среды, блока контроля и управления, узла подвода постоянного тока к соединяемым пластинам со скользящими электрическими контактами, отличающееся тем, что, с целью равномерного распределения электрического тока по площади контакта соединяемых пластин и снижения в них термических напряжений, узел подвода постоянного тока содержит размещенный в раме токораспределитель в виде цилиндрической пружины, 10 ось которой параллельна плоскости пластин, а каждый виток имеет контакт с рамой и одной из соединяемых пластин.