Электрометр

OllИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

396636

Союз Советских

Социвлистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Л!. Кл. G Olr 27/00

Заявлено 25.1I.1972 (№ 1754782/26-25) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет—

Опубликовано 29.V111.1973. Бюллетень № 36

Дата опубликования описания 26.09.74

Гвсударстевииа и комитет

Сапата Мииистрав СССР па делам иэабретвиий и открытий

УД K 621.317.723 (088.8) Автор изобретения

Заявитель

С. Ю. Сакалаускас

Вильнюсский ордена Трудового Красного Знамени государственный университет им. В, Капсукаса

ЭЛ ЕКТРОМЕТР

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано для исследования ми крораспределения поверхностного электрического потенциала и его кинетики .в полу проводниках и диэлектриках.

Известны электрометры, содержащие емкостной преобразователь, усилитель переменного тока и демодулятор.

Однако такие электрометры не обеспечивают требуемой стабильной разрешающей способности, т. е. заданного числа отдельных измеренных линий на погонную единицу длины.

Этот параметр, весьма важен при исследовании микрораспределения электрического потесщиала. Изменение разрешающей способности электрометра происходит вследствие изменения расстояния между, вибрирующим электродом и исследуемой поверхностью при перемещении образца относительно электрода или наоборот.

При освещении это расстояние еще можно контролировать, но когда исследования проводятся в темноте, .контроль расстояния становится весьма затруднительным, а иногда и невозможным из-за нерав номерной толщины исследуемого образца.

Цель изобретения — увеличение разрешающей способности и повышение точности измерения.

Цель достигается путем введения в предлагаемый электрометр соединенных между собой нелинейного усилителя с демодулятором, дифференциального усилителя и исполнительного механизма, причем выход исполнительного механизма связан с преобразующим электро5 дом через электрометрическии повторитель, выход которого подключен к входу нелинейного усилителя с демодулятором, а,выход усилителя с демодулятором соединен с одним из входов дифференциального усилителя.

10 На чертеже приведена блок-схема предлагаемого электрометра.

Исследуемый образец 1 помещают под преобразующий электрод 2 электрометра, ко15 торый содержит также электрометрический повторитель 8, усилитель 1 с демодулятором, регистрирующий прибор 5, нелинейный усилитель б с демодулятором, дифференциальный усилитель 7, исполнительный механизм 8.

20 Действует электрометр следующим образом.

Над исследуемым образцом электрод 2 преобразует потенциал в переменную состав25 ляющую тока, которая повторяется электрометрическим повторителем 3, усиливается и демодулируется усилителем 4 и поступает на изолированную подложку исследуемого образца 1, на регистрирующий прибор 5 и дифферен30 циальный усилитель 7.

396636

Предмет изобретения

Составитель О. Афанасенкова

Техред Т. Ускова

Корректор H. Аук

Редактор И. Орлова

Изд. № 1001 Тира>к 743 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 528

Типография НИИМАШ, ст. Щербинка

Электрометр для исследования микрораслределений электрического потенциала, содерхкащий преобразующий электрод, электрометрическпй повторитель, усилитель с демодулятором и регистрирующий прибор, соединенные последовательно, отличаюи1ийся тем, что, с целью увеличения разрешающей способности, в него введены соединенные ме кду собой нелинейный усилитель с демодулятором, дифференциальный усилитель и исполнительный механизм, причем выход исполнительного 1еха5 пизма связан с преобразующим электродом через электрометрический повторитель, выход которого,подкл1очен к входу нелинейного усилителя, выход .которого соединен с одни« I13 входов дифференциального усилителя.